刘旭冉
- 作品数：2 被引量：5H指数：1
- 供职机构：华南理工大学机械与汽车工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程更多>>
- 微磨削锥塔结构Si表面的自适应方向检测与加工精度评价
- 微磨削加工与光化学等蚀刻加工相比，具有微加工精度高和表面质量高的优点，但是，要获得更高附加值的表面特性需要控制微结构形状精度。机械式接触检测因触针的尺寸和刚性很难检测到微结构底部和尖端，所以微结构检测主要采用白光干涉检测...
- 刘旭冉
- 文献传递
- 微磨削锥塔结构光滑表面的自适应方向检测与微加工精度被引量：4
- 2014年
- 用白光干涉检测(WLI)法检测微结构表面形貌时,其光滑结构面和边角数据很容易丢失,因此本文提出了自适应方向WLI检测法。该方法分别沿着每个微斜面法向进行自适应方向检测,评价分析其面形、特征轮廓和特征点的加工精度。首先,采用#3000金刚石砂轮微细尖端在Si表面加工出高度为50μm、宽度为56μm且光滑的微锥塔结构。然后,利用四次检测点云对微磨削表面进行拼接与重建。最后,分析面形误差、特征轮廓误差和特征点误差。实验显示:自适应方向WLI检测可以重构出完整的微锥塔结构表面,微磨削的面形误差为5.3μm,表明该微磨削技术可以确保微锥塔结构光滑Si表面的加工精度。但是,对微锥塔结构表面特征轮廓误差及特征点误差的评价表明,特征轮廓误差高达7.7μm,而特征点误差约为15μm,约为面形误差的3倍。分析认为这些误差是由微金刚石砂轮V形尖端磨钝及微磨粒钝化造成的。
- 谢晋刘旭冉吴可可李萍卢泳贤
