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华德清

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
相关领域：电子电信经济管理更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇淀积
  • 1篇镀膜
  • 1篇镀膜机
  • 1篇蚀刻
  • 1篇离子束
  • 1篇溅射
  • 1篇工艺参
  • 1篇工艺参数

机构

  • 1篇电子工业部
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 2篇陈特超
  • 2篇华德清
  • 1篇席光荣
  • 1篇安志超
  • 1篇肖友文

传媒

  • 1篇第十二届全国...

年份

  • 1篇2003
  • 1篇1997
共 3 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
影响离子束溅射淀积薄膜的工艺参数分析
本文通过对离子束溅射淀积薄膜的工艺参数的分析,和实验所得出的经验,对指导离子束蚀刻镀膜操作人员在该类设备上制作出优良的薄膜具有一定的参考实用价值.
华德清陈特超
关键词：离子束蚀刻溅射淀积工艺参数
文献传递
LD-4型多离子束共溅射镀膜机
安志超华德清陈特超席光荣肖友文
该机是根据带能量的离子束轰击固体表面的溅射原理研制的半导体工艺设备。只需在真空室外转换靶位，实现一机两种镀膜技术。一是多个离子束同时轰击各自对应的靶，溅出的各个靶材原子同时淀积在一个衬底上的共溅射镀膜技术。二是各个靶材溅...
关键词：
关键词：镀膜机
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