吴明均
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国科学院科学仪器厂更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 探针振动法测定旋转对称磁透镜的场分布
- 1986年
- 电磁透镜是电子显微镜和微分析仪器等电子光学仪器的基本元件。电磁透镜的特性尤其是物镜决定着这些仪器的主要性能。如果我们知道了电磁透镜的轴上场分布,则它的电子光学特性就可以计算出来。探针振动法就是用来直接测量旋转对称电磁透镜的轴上场分布的一种设备,它可以简单、迅速地测量一个透镜的真实场分布。一般用计算机的方法只能得到假定的理想的透镜场分布,而各种复杂的实际情况是难于考虑的。探针振动法是根据电磁感应原理,使测量探针在被测量的透镜中作正弦式振动,感应出电动势,此电动势正比于所测量点的电磁感应强度。让探针振动的同时沿透镜轴移动,就可以测得整个透镜的轴上场分布。
- 吴明均RMurillo
- 关键词：电磁透镜振动法电子光学仪器正弦振动测量线
- DJ—2可变矩形电子束曝光机被引量：1
- 1992年
- 电子束曝光机用于制造超大规模集成电路掩模版。它由电子光学柱、工件台、图形发生器、计算机及控制系统组成。可变矩形电子束曝光机,具有生产效率高,图形产生灵活等优点。束斑形状的变化是通过投影两个方光栏的象来实现的,用静电偏转的方法把第一方光栏的象相对于第二方光栏移动,两者重合组成的矩形象经缩小并投身到工件台上得到一个可变的矩形束斑。
- 吴明均黄兰友
- 关键词：电子束曝光机曝光机VLSI
