唐衍哲
- 作品数：27 被引量：26H指数：3
- 供职机构：浙江大学信息与电子工程学系更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划教育部科学技术研究重点项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- SiO_2 8×8阵列波导光栅的研制被引量：1
- 2006年
- 在Si基Si O2材料上设计并制作了中心波长为1.55μm、通道间隔为0.8nm的8×8阵列波导光栅(AWG)。详细介绍了器件的设计、制作和测试,并对测试结果及工艺误差进行了深入的分析讨论。封装后的测试结果显示,器件的3dB带宽为0.22nm;中央通道输入时,最小和最大插入损耗分别为4.01dB和6.32dB;边缘通道输入时,最小和最大插入损耗分别为6.24dB和9.02dB;对比不同通道输入时输出通道的中心波长,其偏移量低于0.039nm;器件的通道间串扰小于-25dB;偏振依赖损耗(PDL)小于0.3dB。
- 李广波龙文华贾科淼唐衍哲吴亚明杨建义王跃林
- 关键词：光波分复用集成光学
- 在绝缘层硅材料上制作多模干涉型光耦合器的方法
- 本发明涉及一种在绝缘层硅材料上制作多模干涉型光耦合器的方法,属于平面型光耦合的领域。其特征在于以绝缘层上硅为原料,利用硅在各向异性腐蚀液中的性质,提出一套制作多模干涉耦合器的简便方法。输入输出波导满足单模条件,多模波导区...
- 唐衍哲王文辉李铁王跃林
- 文献传递
- 一种镜面全反射型弯曲波导器件结构及制作方法
- 本发明涉及一种镜面全反射型弯曲波导器件结构及制作方法,特征在于以绝缘层上的硅为基材料,利用硅的各向异性腐蚀特性,通过氧化、光刻、腐蚀等微机械加工技术,制作出位置精确、镜面平整度高且与波导平面绝对垂直的全反射镜,并和用绝缘...
- 唐衍哲王文辉李铁王跃林
- 文献传递
- 镜面全反射型弯曲波导的制作方法
- 唐衍哲
- 该发明的新颖性在于制作出了应用于集成光波导器件的定位准确，表面光亮的镜面，并和利用绝缘层上的硅材料制作的单模脊型波导一起形成了低损耗大弯曲角的弯曲波导；其创造性在于将硅微机械的加工工艺应用于硅基光波导器件的制作，巧妙地利...
- 关键词：
- 关键词：弯角波导镜象波导集成光学器件光波导器件
- 一种镜面全反射型弯曲波导器件结构及制作方法
- 本发明涉及一种镜面全反射型弯曲波导器件结构及制作方法，特征在于以绝缘层上的硅为基材料，利用硅的各向异性腐蚀特性，通过氧化、光刻、腐蚀等微机械加工技术，制作出位置精确、镜面平整度高且与波导平面绝对垂直的全反射镜，并和用绝缘...
- 唐衍哲王文辉李铁王跃林
- 文献传递
- 转动竖直镜面微机械光开关及其制造方法
- 本发明涉及一种竖直镜面微机械光开关及其制作方法，其特征在于：该光开关的悬臂梁、微镜、光输入和输出的对准槽全都集成在一个硅片上；以非零度角入射，输出在反射角方向接收，输入球透镜最大程度地靠近镜面，输出球透镜前后错开摆放，输...
- 杨艺榕唐衍哲王跃林
- 文献传递
- 一种垂直光滑的反射型微镜的制作方法
- 本发明涉及一种垂直光滑的反射型微镜的制作方法，其特征在于利用硅的干法刻蚀和各向异性腐蚀相结合在绝缘层上的硅材料上制作的；具体步骤是：(1)在绝缘层上的硅上生长一层可用于硅的各向异性腐蚀的掩模；(2)在掩模上光刻出制作镜子...
- 王文辉唐衍哲杨艺榕吴亚明王跃林
- 文献传递
- 一种新结构的硅基无源环形波导式谐振腔被引量：6
- 2003年
- 提出了一种新结构的光学环形谐振腔。该谐振腔由四根直波导和四个拐弯角处集成的全反射镜围成一个方形环构成,这种结构免去了以前的波导式环形谐振腔中必需包含的弯曲波导。设计了谐振腔的输入和输出结构,并通过计算机辅助设计软件对该设计进行了优化。
- 郭伟金仲和唐衍哲徐贻斌崔忠升王跃林
- 关键词：谐振腔波导光学陀螺
- 1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅的研制被引量：2
- 2005年
- 采用高精度光刻版、PECVD材料生长、反应离子刻蚀和端面8°角抛光等技术,设计并研制了1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅.研制的AWG芯片,其相邻通道引起的通道串扰小于-28dB,非相邻通道引入的串扰小于-35dB.通道的插入损耗在进行光纤耦合封装后进一步提高,平均损耗约为4.9dB,不均匀性约为1.72dB.
- 龙文华李广波贾科淼屈红昌唐衍哲吴亚明杨建义王跃林
- 关键词：阵列波导光栅硅基二氧化硅集成光学
- 一种基于SOI材料的光功率分配器
- 介绍了一种利用硅的各向异性腐蚀特性在SOI材料上实现的光功率分配器,文中阐述了分配器的结构原理,制作方法,并给出了初步的测试结果.该功率分配器利用硅和空气的界面作为全反射镜面在短距离内实现了输出分支的间距为250μm的低...
- 唐衍哲王文辉李铁王跃林
- 关键词：光功率分配器SOI弯曲波导各向异性腐蚀
- 文献传递
