夏子奂
- 作品数：26 被引量：26H指数：4
- 供职机构：同济大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市科学技术委员会基础研究重点项目安徽省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信电气工程机械工程更多>>
- 激光干涉和化学腐蚀制备氢化硅太阳能电池绒面结构
- 结合激光干涉法和化学腐蚀法制备绒面掺铝氧化锌薄膜，以及碱腐蚀制备金字塔单晶硅绒面结构。采用扫描电镜观察了绒面形貌，用紫外-可见分光光度计对反射率进行了测试。比较了几种典型绒面结构在降低反射率方面的效果。以n-100型单晶...
- 刘仁臣吴永刚夏子奂
- 导模共振滤光片波导近似分析
- 本文从等效折射率理论及薄膜波导的本征值方程出发，研究了导模共振光栅滤光片的波导近似分析方法。分别以单层、四层膜系导模共振光栅结构为例，将光栅等效为均质薄膜，通过求解波导本征值方程，研究了光栅层厚度、周期、占空比，四层膜系...
- 王振华吴永刚陈乃波凌磊婕夏子奂
- 关键词：光栅结构等效折射率
- 文献传递
- 非偏振可调谐导膜共振滤光片系统及其测量纳米间隙的方法
- 本发明涉及非偏振可调谐导模共振滤光片系统及其测量纳米间隙的方法，系统由两个相同的导模共振滤光片平行相向放置构成，每个导模共振滤光片均由衬底层、波导层和光栅层构成，其中，导模共振滤光片系统为正交双光栅系统，两个导模共振滤光...
- 吴永刚伍和云吕刚王振华夏子奂刘仁臣
- 文献传递
- 用导模共振光栅测量纳米级间隙的研究
- 利用导模共振光栅表面的空气层厚度变化,造成导模共振光栅反射峰位的移动来测量纳米级间隙,突破了测量100nm以下间隙的难关。本文用严格耦合波方法计算了双层膜和金属基底模型,并分别讨论了光栅各参数（光栅厚度、周期、折射率）、...
- 夏子奂吴永刚王振华凌磊婕
- 关键词：导模共振
- 文献传递
- 三层光栅结构超薄非晶硅太阳能电池宽带吸收的增强
- 本文研究了三层光栅对超薄非晶硅太阳能电池光俘获的影响.通过对单层、双层、三层光栅结构的周期和高度的研究，我们发现短光谱段(400-550nm)、中光谱段(550-750nm)和长光谱段(750-900nm)光宽带吸收的增...
- 周建吴永刚夏子奂梁钊铭刘仁臣秦雪飞
- 关键词：薄膜太阳能电池等离子体共振外量子效率
- 亚微米AZO光栅及其漫透射分布特性被引量：1
- 2012年
- 探讨亚微米掺铝氧化锌(AZO)光栅的漫透射光谱特性。在AZO薄膜上涂布光刻胶,用325nm激光双光束干涉曝光得到掩模图案。将其置于质量分数为0.5%的稀盐酸溶液中湿法刻蚀,制备出周期(780～1280nm)和高度(60～300nm)能独立调控的AZO一维光栅。正入射双向透射分布函数(BTDF)测试结果表明,400～900nm波段内平均镜面透射率随光栅周期增大而降低,与紫外-可见分光光度计测得的结果吻合;同时,周期越大被衍射到30°～80°范围内的漫透射比重和漫透射峰值均越大,而峰位角越小。根据光栅方程对实验结果给出了合理的解释。
- 刘仁臣吴永刚夏子奂唐平林梁钊铭
- 关键词：光栅掺铝氧化锌激光干涉法湿法刻蚀
- 准分子激光刻蚀制备300nm自支撑聚酰亚胺薄膜
- 目前亚微米自支撑PI薄膜的制备仍然是一个难点和热点课题。我们以4,4'-二氨基二苯醚(ODA)和均苯四甲酸二酐(PMDA)为单体合成聚酰胺酸(PAA)溶液,经热亚胺化后脱膜得到900 nm自支撑PI薄膜。采用Kr...
- 刘仁臣吴永刚夏子奂梁钊铭周建唐平林
- 关键词：聚酰亚胺自支撑
- 湿法和溶脱法的亚微米ZnO:Al光栅制备被引量：5
- 2012年
- 以激光干涉法得到的光刻胶图案为掩模,采用湿法刻蚀和溶脱-剥离法制备了具有良好减反射特性的亚微米掺铝氧化锌(ZnO:Al,AZO)光栅。表面形貌特征和反射光谱测试结果表明,湿法刻蚀较溶脱-剥离法得到的AZO光栅表面更为粗糙,两者均方根粗糙度分别为25.4,7.6nm。在400～900nm波段,两种方法制备的周期和高度相同的光栅,平均总反射率分别由AZO薄膜的12.5%下降到8.3%和10.2%。两者的平均镜面反射率分别为6.2%和6.6%,平均漫反射率分别为2.1%和3.6%。湿法刻蚀得到的表面较为粗糙AZO光栅的漫反射明显减弱,从而导致总的减反特性优于溶脱-剥离法得到的表面起伏相对较小的AZO光栅。
- 刘仁臣吴永刚夏子奂王振华唐平林梁钊铭
- 关键词：掺铝氧化锌激光干涉法湿法刻蚀
- 氧化锌脱膜和激光刻蚀制备亚微米自支撑聚酰亚胺薄膜及其性能被引量：3
- 2013年
- 探讨小于1μm自支撑聚酰亚胺薄膜的制备及其性能。以稀盐酸为腐蚀剂，对涂于氧化锌衬底上的聚酰胺酸薄膜进行剥离，经热亚胺转化为聚酰亚胺薄膜，再用准分子激光对其刻蚀减薄。采用原子力显微镜、傅里叶变换红外光谱仪和分光光度计对薄膜的微观结构和光谱性能进行了表征。结果表明，以室温下溅射的氧化锌薄膜为脱膜剂，制备了厚度约950nm的白支撑薄膜，而激光刻蚀使聚酰亚胺薄膜厚度减薄至150nm2厚度分别为950和150nm薄膜的红外谱中均出现了聚酰亚胺特征吸收峰（1775、1720、1380和725cm2），且两者在400～2500nm范围的平均透过率分别为80．3％和83．5％。
- 刘仁臣吴永刚夏子奂
- 关键词：聚酰亚胺KRF准分子激光氧化锌
- 自支撑Zr膜制备及软X射线透过性能研究被引量：2
- 2011年
- 软X射线波段滤光膜材料大都为自支撑金属薄膜,实验室环境下自支撑薄膜长期与空气接触表面易氧化,空气中的杂质原子进入自支撑薄膜内部,致使自支撑膜光学性能大幅下降.5 nm至20 nm软X射线波段Zr具有较低的质量吸收系数和较小的密度,在该波段Zr滤光膜透过率较高.采用脱模剂法制备自支撑Zr膜,在洁净的浮法玻璃上蒸镀一层NaCl做为脱膜剂,直流磁控溅射沉积Zr膜,脱膜后的到自支撑Zr膜.为防止薄膜表面氧化及空气中杂质原子进入薄膜内部,在Zr膜两面各直流磁控溅射沉积一层10 nm厚的C或Si膜作为保护膜,得到C/Zr/C、Si/Zr/Si复合膜,测试结果显示C或Si膜的引入对于自支撑Zr膜光学性能基本无影响.
- 伍和云吴永刚王振华吕刚凌磊婕夏子奂陈乃波
- 关键词：软X射线脱模剂磁控溅射
