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姚建国
作品数:
39
被引量:26
H指数:3
供职机构:
河南科技学院
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发文基金:
国家自然科学基金
中国博士后科学基金
河南省高校青年骨干教师资助项目
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相关领域:
金属学及工艺
电子电信
化学工程
文化科学
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合作作者
苏建修
河南科技学院机电学院
王占奎
河南科技学院机电学院
李勇峰
河南科技学院机电学院
马利杰
河南科技学院机电学院
宁欣
河南科技学院机电学院
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机构
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姚建国
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苏建修
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2015
6篇
2014
5篇
2013
1篇
2012
共
39
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CP4研抛晶片时非均匀性和材料去除速率研究
被引量:1
2014年
建立了CP4研抛晶片时,晶片上任一点相对于研抛盘的运动方程。通过对其运动轨迹的分析,建立了工件材料研抛非均匀系数的函数模型和相对研抛材料去除速率的函数模型。运用Matlab软件,模拟分析了各个参数变化对研抛非均匀系数和相对研抛效率的影响。结果表明:对材料去除效率影响最大的参数是偏心距e的大小,其次是从动系数λ1;对晶片非均匀性影响最大参数是从动系数λ1,其次是偏心距e;当λ1=1,λ2>0.3,e取工艺允许的最大值时,工件研抛的均匀性最好。
王占奎
逄明华
苏建修
姚建国
关键词:
研抛
非均匀性
一种气吸式免粘单面研抛用工件承载装置
一种气吸式免粘单面研抛用工件承载装置,它包括.吸盘(11),其特征是所述的吸盘(11)的中心设有一个活塞腔(14),活塞((7)安装在活塞腔(14)中,活塞(7)通过安装有测微部件的调节螺旋体(10)与气缸盖(15)相连...
王占奎
苏建修
左敦稳
梁明超
姚建国
马利杰
李勇峰
刘亚明
付素芳
一种304不锈钢化学机械抛光用抛光剂和抛光液及其制备方法
本发明提供了一种304不锈钢化学机械抛光用抛光剂,包括下述重量份的组分:磨料1~10份,磨料分散剂1~15份,氧化剂1~20份,表面活性剂2~10份,碳纳米粉0.5~5份,pH值调节剂5~20份和pH值稳定剂1~5份;所...
苏建修
王占奎
李勇峰
姚建国
陈佳鹏
彭亚男
刘振辉
李洁静
一种刮削用台钳
本实用新型公开了一种刮削用台钳,涉及加工工具领域,包括基座以及底座,所述基座上设有升降装置,所述底座通过升降装置实现升降,所述底座上通过转盘轴承转动连接有台钳座,台钳座的底部固定连接有蜗轮,所述蜗轮与蜗杆啮合,所述蜗杆穿...
余泽通
姚建国
赵高丽
一种过滤装置
本实用新型公开了一种过滤装置。它包括滤网和骨架,所述滤网为多层烧结滤网置于圆形骨架的内表面上,上述烧结滤网下端口的内表面上设有压紧环,通过螺栓将压紧环与烧结滤网固定,圆形烧结底网置于压板和底板之间,通过螺栓使之固定为一体...
宁欣
张素君
宁李谱
郑艳玲
余泽通
苗青林
姚建国
高涛
一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的弹性层及其制备方法
一种Roll‑to‑Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的弹性层,其技术方案要点是:组分与重量百分比如下:光固化树脂20%~60%,附着剂2%~10%,活性稀释剂20%~50%,光引发剂5%~15%,促进剂0.5%~7...
苏建修
张文庆
王占奎
姚建国
张骞
郑丽媛
王雅慧
付成果
一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用游离磨料抛光辊
本实用新型公开了一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用游离磨料抛光辊,其技术方案要点是:它包括游离磨料抛光辊基体,游离磨料抛光辊的两侧分别设有抛光辊左端支撑机构和抛光辊右端支撑机构,游离磨料抛光辊基体的外侧设有游离...
苏建修
贾琛
姚建国
郭竞杰
郑丽媛
王雅慧
张骞
陈佳鹏
一种晶体基片超精密研抛实验用载物台
本实用新型公开了一种晶体基片超精密研抛实验用载物台。本实用新型的技术方案要点是,一种晶体基片超精密研抛实验用载物台,它包括载物盘,压块,载物盘与压块之间通过定位联接结构固定。本实用新型结构合理,使用方便,便于使用,能够极...
苏建修
洪源
刘幸龙
丛晓霞
王振宁
王占合
姚建国
胡志刚
一种用于化学机械抛光超薄柔性显示衬底的抛光机
一种用于化学机械抛光超薄柔性显示衬底的抛光机,本发明的技术方案要点是,一种用于化学机械抛光超薄柔性显示衬底的抛光机,在放卷辊的后方设置有水平辊,水平辊的后方设置有后驱动轮装置,后驱动轮装置的后方设置有抛光辊机构,抛光辊机...
苏建修
王占奎
姚建国
李勇峰
庞子瑞
马利杰
郭昊
付素芳
一种SiC单晶片研磨工序用固结磨料化学机械研磨盘
一种SiC单晶片研磨工序用固结磨料化学机械研磨盘。本发明的技术方案要点是,本发明的技术方案要点是,一种SiC单晶片研磨工序用固结磨料化学机械研磨盘,它包括固结磨料层、联接层、金属基体层,固结磨料层按照重量百分比含量包括:...
苏建修
庞子瑞
马利杰
付素芳
姚建国
郑秋白
刘志响
张竹青
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