宋婉贞
- 作品数：16 被引量：17H指数：3
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程自然科学总论自动化与计算机技术更多>>
- 基于Profibus实现netLINK网关与PLC的通讯被引量：1
- 2012年
- 对上位机与底层PLC运动控制模块的研究发现,上位机具有强大的计算能力和稳定的数据存储,PLC运动控制模块是设备运行的核心。将两者运用netLINK通讯模块进行连接,在数据计算和存储便捷的同时,将会使运动系统更加稳定。
- 宋婉贞田洪涛
- 关键词：上位机运动控制模块
- 全自动上下料方法在半导体设备中的应用
- 2024年
- 为了实现GPP半导体设备中的全自动上下料方法,该系统采用模块化设计,可便捷地安装于现有加工设备一侧或用于手动设备升级。上下料机构通过横向、纵向电机模组、吸盘、料盒及传感器的精密配合,实现了晶圆的自动取放与传输。控制系统以欧姆龙CP1H可编程控制器为核心,通过内置输入、输出功能及原点功能,确保了上下料流程的稳定与安全。方法上,全自动上下料流程包括取料、传输、放料3个主要步骤,并引入废料剔除功能以应对加工异常。取料过程通过纵向机械手的精确控制实现,传输过程依赖横向电机的准确驱动,而放料过程则需与承片台紧密配合。此外,系统还提供了综合测试功能,涵盖单轴测试与流程测试2个部分,以确保机构与控制系统的性能。通过全自动上下料机构及控制系统的应用,设备的换料周期由传统的25片延长至80~100片,提升了生产效率,减少了人工干预,降低了人工成本,使操作人员能够同时兼顾更多设备。
- 宋婉贞武震谭立杰张永昌
- 关键词：全自动可编程逻辑控制器
- 化学机械抛光终点检测技术研究被引量：3
- 2016年
- 化学机械抛光是晶圆全局平坦化的核心技术,其中有效的终点检测是影响抛光效果的关键。若不能有效地监测抛光过程,便无法避免晶圆抛光过度或不足的缺陷。本文在介绍CMP原理与应用的基础上,系统分析了CMP终点检测技术的多种应用方法及其优缺点。
- 张继静李伟宋婉贞
- 关键词：晶圆平坦化化学机械抛光
- 伺服运动控制工作台精度误差分析被引量：1
- 2022年
- 以XY轴十字叠加伺服运动控制工作台为例,通过观测误差现象,从电气控制系统方面分析位置式数字PID控制器的精度误差产生原因,并提出减小误差的方法和验证方法。从工作台机械系统方面,分析精度误差产生原因,提出设计和选型标准。通过几方面的技术改进提高伺服运动控制工作台的定位精度、重复精度。
- 谭立杰闫芸宋婉贞
- 关键词：伺服控制XY工作台
- 快慢自适应大夹持力机构设计及实验验证
- 2024年
- 通过快慢自适应夹持机构的锁紧和开启可以实现部件之间紧密地连接和分离,为保证提供足够且稳定的垂向夹持力,在该机构设计过程中采用了大杠杆比例的机械原理;同时考虑到部件之间的连接需要快速完成,在该机构设计过程中考虑了气路原理设计和电气控制逻辑及方案,共同完成自动判断夹持快慢的时间段。利用精密力传感器对该机构进行夹持力的测试,测试结果表明该设计具有足够的可靠性及稳定性。
- 田世伟周庆奎赵宏亮赵宝君宋婉贞班超
- 关键词：夹持机构力测试
- 全自动硅片清洗设备的技术改进
- 2015年
- 全自动硅片清洗设备电气控制是以PLC、触摸屏为核心实现硅片清洗的自动化。介绍了该设备在PLC控制方面的技术改进,包括对机械臂的运动控制方式、工艺适应性以及安全性能两个方面,大大提高了设备的稳定性及安全性。
- 宋婉贞田洪涛张继静
- 关键词：安全性能
- 提高PCB基板通断测试效率的研究
- 2011年
- 随着CAD行业发展,正确合理的检测产品合格率越加重要。介绍如何正确编辑Gerber文件,合理的制作并生成移动探针测试文件,提高PCB和陶瓷芯片基板通断测试的准确率和效率。
- 田洪涛宋婉贞刘国敬霍杰
- 线切割设备工艺曲线计算方法的优化与应用
- 2015年
- 论述了圆弧式数据曲线的计算方式与方法,该算法通过软件产品予以实现,主要用来优化线切割设备的工艺设定方式与工艺曲线计算方法,最终达到增强设备稳定性的目的。
- 田洪涛宋婉贞周庆亚谢耿勋
- 发光强度测量与计算在探针测试中的应用
- 2013年
- 通过对光谱仪的控制,对各项发光强度参数的计算与校准,在传统的探针设备基础上增加发光强度的测试过程,从而丰富探针设备的功能。目前设备已经达到红、黄、蓝光芯片的测试的要求,并在客户现场投入使用。主要总结归纳发光强度测量计算方法与实验结论。
- 田洪涛李斌宋婉贞
- 关键词：光谱仪
- 半导体设备运动控制系统接口设计被引量：1
- 2023年
- 在多自由度纳米级运动平台的运动控制系统架构中,运动控制器和电机驱动器之间增加了运动控制系统接口的设计,用于实现光纤接口和模拟量控制接口的转换,从而完成运动平台的驱动控制。运动控制系统接口的设计主要针对光纤接口的运动控制器及常用的模拟量控制伺服或线性驱动器,适用性强。主要描述了运动控制系统接口的功能与构成、硬件设计、现场可编程逻辑门阵列(FPGA)程序设计。
- 宋婉贞周庆奎陈高升刘宝航
- 关键词：半导体设备系统接口设计
