宋文燕
- 作品数：9 被引量：20H指数：3
- 供职机构：西北工业大学材料学院更多>>
- 发文基金：国防科技技术预先研究基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信化学工程一般工业技术更多>>
- 环境气氛对射频溅射镀膜的影响被引量：1
- 2006年
- 综合考虑宏观条件对射频溅射镀膜过程的影响,采用等离子鞘层理论、理想气体理论、蒙特卡罗法,模拟在真空气压、气体流量、电压、温度等等参数综合作用后离子的能量、方向、分布等。相应实验验证结果与模拟结果较为一致,因此,可以认为目前的结论足以作为进一步模拟的条件。
- 崔虎刘正堂宋文燕孙金池李阳平
- 关键词：射频溅射等离子体鞘层
- 气体流量比对反应溅射Si_3N_4薄膜的影响被引量：2
- 2006年
- 利用射频磁控反应溅射法,以高纯S i为靶材,高纯N2气为反应气体,在S i衬底上制备出了S i3N4薄膜,研究了气体流量比对薄膜质量的影响。结果表明,薄膜的沉积速率主要与气体的流量比有关,随着气体流量比的增加,沉积速率下降,靶面的溅射由金属模式过渡到氮化物模式;薄膜中N/S i的原子比增加;红外吸收谱的S i-N键的振动峰向标准峰逼近。
- 宋文燕崔虎
- 关键词：磁控反应溅射
- 蓝宝石衬底上制备氮化硅薄膜的研究
- 2005年
- 采用射频磁控反应溅射法在蓝宝石和硅衬底上制备出Si3N4薄膜。利用XPS和FTIR分析了所制备薄膜的成分和结构,讨论了工艺参数对沉积速率的影响。结果表明,Si3N4薄膜的沉积速率随溅射气压的增大出现先增后减的趋势,衬底温度对沉积速率没有明显的影响。溅射气压的降低、衬底温度的提高将有利于获得高质量的Si3N4薄膜。
- 宋文燕刘正堂崔虎李强赵铁成
- 关键词：磁控反应溅射蓝宝石氮化硅薄膜沉积速率
- 提高蓝宝石高温强度和透过率的研究被引量：8
- 2007年
- 在蓝宝石(α-Al2O3)衬底上利用射频磁控反应溅射法制备出SiO2/Si3N4双层增透膜系,并对镀膜后的蓝宝石进行了高温强度测试及其透过率的研究.研究表明:镀膜后蓝宝石的高温强度和透过率均有明显提高;800℃时,镀膜蓝宝石的高温强度比未镀膜提高了41.0%;在3-5μm波段范围内,室温下镀膜后透过率比镀膜前提高8.0%;SiO2/Si3N4膜系具有较高的热稳定性,且与蓝宝石衬底附着良好.
- 李强刘正堂冯丽萍宋文燕张兴刚闫锋
- 关键词：磁控溅射蓝宝石高温强度透过率
- 蓝宝石和硅衬底上氮化硅薄膜的制备和性能研究被引量：1
- 2006年
- 采用射频磁控反应溅射法,以高纯Si为靶材,高纯N2气为反应气体,在蓝宝石和硅衬底上制备了氮化硅薄膜。并对Si3N4薄膜的沉积速率、成分、结构及红外光学性能等进行了研究。实验结果表明,沉积薄膜中Si和N的比接近3∶4,形成了Si3N4化合物,呈非晶态结构。制备的Si3N4薄膜的硬度明显高于蓝宝石衬底的硬度,且与蓝宝石衬底结合牢固,可提供良好的保护性能。
- 宋文燕崔虎苏勋家刘正堂
- 关键词：磁控反应溅射蓝宝石氮化硅薄膜
- 影响蓝宝石高温强度的因素探讨被引量：5
- 2006年
- 蓝宝石优秀的光学和力学性能使得它在红外光学领域获得广泛应用,但是,其高温强度的急剧降低,限制了它的热震抗力的发挥。所以改善蓝宝石的高温强度已经成为目前该领域的研究热点之一。本文介绍蓝宝石高温强度降低的机制以及影响因素,并对未来的工作提出展望。
- 宋文燕崔虎刘正堂
- 关键词：蓝宝石高温强度影响因素
- 提高蓝宝石高温强度的研究进展
- 2004年
- 提高蓝宝石高温强度的研究已成为蓝宝石在高速、高温应用中一个亟待解决的重要课题。简要介绍了蓝宝石的高温失效及几种正在研究与发展的改善方法,并提出了今后需要进一步研究的关键问题。
- 冯丽萍刘正堂梅辉宋文燕
- 关键词：蓝宝石高温强度航空技术航天技术红外技术红外光学材料
- 提高蓝宝石高温强度和红外透过率的镀膜法研究被引量：3
- 2006年
- 采用射频磁控反应溅射法,以高纯Si为靶材,高纯O2和N2气为反应气体,在蓝宝石衬底上制备了氧化硅和氮化硅薄膜。讨论了N2气流量、射频功率、溅射气压和靶基距等工艺参数对Si3N4薄膜沉积速率的影响规律。结果表明:随N2气流量的增加,沉积速率先降低,最后趋于稳定;随射频功率增加,沉积速率增加;随溅射气压和靶基距增加,沉积速率先增后减。同时,高温强度试验和FTIR测试结果表明:在800℃时,镀膜后蓝宝石的弯曲强度比镀膜前提高了50.2%;平均透过率净增加8%以上,达到了很好的增透保护效果。
- 宋文燕崔虎刘正堂冯丽萍
- 关键词：蓝宝石氮化硅高温强度透过率镀膜
- 蓝宝石衬底上Si<,3>N<,4>膜系的制备工艺与性能研究
- 在3~5μm的中波红外波段,蓝宝石因其高耐久性和可用性使其成为红外窗口的优选材料.但是,在温度升高时蓝宝石的强度急剧下降,红外透过率也满足不了设计使用要求.因此,在蓝宝石表面镀制增透保护涂层就成为满足其在高速、高温下应用...
- 宋文燕
- 关键词：蓝宝石膜系设计
- 文献传递
