宋晓伟
- 作品数：28 被引量：74H指数：4
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- 相关领域：电子电信理学机械工程一般工业技术更多>>
- 光学薄膜高维多目标优化设计方法
- 本发明公开了一种光学薄膜高维多目标优化设计方法，其包括：应用高维多目标遗传算法求解光学多层膜的多项性能目标的非支配解，分析所述非支配解分布以及所述各性能目标之间的关系，同时对所述非支配解进行优选，从而确定优选的进化方向；...
- 匡尚奇林景全宋晓伟
- 文献传递
- 表面等离激元与入射光共同作用下的金纳米结构近场调控
- 2023年
- 表面等离激元(surface plasmon polariton,SPP)激发纳米结构产生的局域等离激元(localized surface plasmon,LSP)具有更强的近场增强以及特殊的光谱和动力学响应,为探究光与物质相互作用提供了新的思路,然而目前对此方面的研究相对不足.本文利用时域有限差分方法研究由半圆环狭缝与金纳米棒组成的等离激元聚焦透镜复合结构在双光束激发下的近场特性.结果表明,通过调节双光束相对时间延时,可实现对复合体系中金纳米棒近场强度的灵活调控,并揭示出调控机制来自于SPP激发LSP与光激发LSP相干叠加.此外,研究表明在不同双光束延迟时间下,等离激元模式对应的去相位时间存在差异,可将其归因于两个模式在不同延迟时间下的耦合强度存在差异所致.该研究有望进一步促进等离激元在表面增强拉曼散射和等离激元远程催化等领域的应用.
- 王悦王伦孙柏逊郎鹏徐洋赵振龙宋晓伟季博宇林景全
- 关键词：时域有限差分方法
- 一种利用TiO<Sub>2</Sub>粒子阵列辅助飞秒激光超衍射极限加工的方法
- 本发明提供了一种利用球形粒子阵列辅助飞秒激光超衍射极限加工的方法，属于金属表面纳米孔加工领域。具体利用球形粒子阵列作为辅助诱导激光近场增强，进而实现飞秒激光超衍射纳米孔加工。这种方式在多种金属、非金属以及半导体材料表面均...
- 宋晓伟陶海岩林景全王硕
- 极紫外光刻掩模缺陷的补偿方法
- 本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种极紫外光刻掩模缺陷的补偿方法，包括：S1：利用掩模布图计算掩模坯料的缺陷的平移范围和影响范围；S2：在缺陷的影响范围内，将对掩模布图的布图图形分别进行等距收缩操作和等距扩张操作所...
- 宋晓伟张瀚之林景全李博超
- 飞秒激光脉冲能量累积优化对黑硅表面形貌的影响被引量：5
- 2017年
- 在黑硅表面制备的微结构可以使其获得多种表面功能,这些功能在太阳能、探测器等领域具有广泛的应用.因此,黑硅微结构的形成机理及制备条件优化一直是研究关注的焦点.本文的研究发现,随着激光辐照量(提高单脉冲能量或增加积累脉冲数)的增加会遇到形貌尺寸生长的瓶颈效应:过多的能量累积对微结构的优化和控制并没有进一步的作用.理论计算结果表明,产生这一现象的原因是前序飞秒激光脉冲诱导产生的微结构形貌对当前激光脉冲能量的吸收产生了调制,使当前激光脉冲的有效烧蚀效率降低.根据这一飞秒激光烧蚀规律,提出了一种优化表面形貌的新方案——在辐照激光总能量一定的条件下,通过改变激光能量的分配方式(单脉冲能量与脉冲数的组合)可实现表面形貌的优化.这一新的工作方式不但可以提高黑硅的制备效率,而且还有助于减少飞秒加工过程带来的表面缺陷及损伤,并降低加工过程中的能源消耗.这一研究成果对黑硅性能的进一步提升及其工程应用具有重要的意义.
- 陶海岩陈锐宋晓伟陈亚楠林景全
- 关键词：飞秒激光微结构表面形貌
- Gd靶激光等离子体光源离带辐射及其等离子体演化的研究被引量：1
- 2016年
- 利用脉冲宽度为10ns,输出波长为1 064nm的Nd∶YAG激光器作用金属Gd以及纳米粒子掺杂的低密度Gd玻璃等两种形式靶所产生等离子体光源的离带辐射进行了研究,发现等离子体所发出的连续辐射是离带辐射的主要成分,光谱分布与温度为5eV的普朗克曲线相匹配。此外,相对于金属Gd靶而言,采用纳米粒子掺杂的低密度Gd玻璃靶可大幅度降低等离子体光源的离带辐射。利用光谱法,对激光作用纳米粒子掺杂的低密度Gd玻璃靶所形成光源的等离子体羽的电子温度和电子密度进行了时空分辨研究。实验结果表明,在打靶结束125ns时,距靶面6mm位置处等离子体的电子温度约为4eV,电子密度约为1.2×1018 cm-3。同时发现在激光打靶结束后等离子体羽的电子温度和电子密度随延时的变化而呈指数下降,在120-250ns时间范围内,两者下降较快,之后其幅度下降缓慢。另一方面,当打靶脉冲结束约200ns时,在距离靶面1-10mm的空间内等离子体的电子温度及密度均经历先上升后下降的变化过程。在距靶材表面6mm位置处,电子温度和电子密度均达到最大值,电子温度约为2.6eV,电子密度为8.5×1017cm-3。
- 宋晓林宋晓伟窦银萍田勇谢卓高勋林景全
- 关键词：极紫外光刻
- 一种控制金属表面微纳米结构尺寸和分布的方法
- 本发明公开了一种控制金属表面微纳米结构尺寸和分布的方法。实现本发明利用脉宽15fs到5ps的超短脉冲激光所诱导的等离子体细丝直接辐照金属表面，通过控制超短脉冲激光参数及其丝在金属表面的扫描速度和扫描间距实现等离子体细丝对...
- 陶海岩林景全宋晓伟刁凌天郝作强
- 纳秒激光烧蚀光学玻璃的等离子体发射光谱特性被引量：6
- 2011年
- 对波长355 nm,脉宽5 ns的激光脉冲烧蚀空气中光学玻璃产生的等离子体发射光谱进行了时间和空间分辨研究。结果表明,在等离子体羽膨胀初期(小于200 ns时间范围内),等离子体发射光谱主要由连续光谱构成。此后,连续光谱强度逐渐减弱,线状光谱开始占主导地位。实验表明,由于存在等离子体屏蔽效应,脉冲能量大于35 mJ后,光谱线强度开始减弱。由时间分辨发射光谱发现,在等离子体羽膨胀过程中等离子体辐射波长(以Si I390.6 nm为例)存在红移现象,波长红移量随时间演化呈二次指数衰减。
- 高勋宋晓伟郭凯敏李海军林景全
- 关键词：光谱学脉冲激光烧蚀等离子体发射光谱谱线强度
- 一种飞秒激光处理金属表面优化微波段吸收性能的方法
- 本发明提供了一种飞秒激光处理金属表面优化微波段吸收性能的方法，属于金属表面功能改性领域。本发明通过在固体基底表面进行飞秒激光聚焦扫描处理的方式，实现处理后的微纳结构表面的微波性能优化。这种方法可以有效的在固体表面实现大面...
- 陶海岩宋晓伟林景全王硕
- 文献传递
- 一种控制金属表面微纳米结构尺寸和分布的方法
- 本发明公开了一种控制金属表面微纳米结构尺寸和分布的方法。实现本发明利用脉宽15fs到5ps的超短脉冲激光所诱导的等离子体细丝直接辐照金属表面，通过控制超短脉冲激光参数及其丝在金属表面的扫描速度和扫描间距实现等离子体细丝对...
- 陶海岩林景全宋晓伟刁凌天郝作强
- 文献传递
