尚勇
- 作品数：23 被引量：35H指数：4
- 供职机构：河北大学物理科学与技术学院更多>>
- 发文基金：河北省自然科学基金国家自然科学基金河北省教委博士基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信一般工业技术化学工程更多>>
- 电子助进化学气相沉积金刚石薄膜动力学过程研究
- 本论文采用蒙特卡罗(Monte Carlo)数值模拟方法，研究了以CH4/H2为源气体的电子助进化学气相沉积(EACVD)金刚石薄膜的气相动力学过程。研究了EACVD气相过程中的电子行为、CH4及H2的分解过程和气相过程...
- 尚勇
- 关键词：金刚石薄膜
- 电子助进化学气相沉积金刚石中的光发射谱特性
- 2008年
- 采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2为源料气体的电子助进化学气相沉积(EACVD)金刚石中的氢原子(Hα,Hβ,Hγ)、碳原子C(2p3s2p2∶λ=165.7nm)以及CH(A2Δ→X2Π∶λ=420～440nm)的光发射过程进行了模拟,气体温度随空间的变化采用温度梯度变化,研究了不同反应室气压及衬底温度下的光发射谱特性。结果表明,不同衬底温度下各谱线强度均随气压的增大先增大后减小;当气压较低时,谱线强度随衬底温度的增大而减少,而气压较高时,谱线强度随衬底温度的增大而增大。
- 王志军董丽芳李盼来尚勇
- 关键词：金刚石蒙特卡罗模拟发射光谱
- 蒙特卡罗模拟金刚石薄膜化学气相沉积过程中甲烷浓度的影响被引量：1
- 2005年
- 本工作采用蒙特卡罗模拟,研究了以CH4/H2气体混合物作为源料气体的电子辅助热丝化学气相沉积中甲烷浓度对气相沉积过程的影响.计算了典型实验条件下电子能量分布,研究了电子平均能量、碎片H及CH3数目的空间分布、H与CH3的比值及CH3携带的能量随甲烷浓度的变化.结果表明:当电子能量为2-3eV时,电子的数密度达到一峰值;平均电子能量随着甲烷浓度的增加而增加;电子与气体分子碰撞产生的碎片H、CH3和CH2的数密度随距热丝的距离而变化;随着甲烷浓度的增加,原子氢H的数目缓慢下降,然而,官能团CH3和CH2的数目缓慢上升;H与CH3的数量比随甲烷浓度的增加而减少;碎片CH3携带的能量处于1～5eV范围之内,且当甲烷浓度为1.3%时,该能量达到一最值.
- 尚勇董丽芳马博琴王志军
- 关键词：金刚石薄膜甲烷
- 电子辅助热丝化学气相沉积金刚石薄膜中氢原子谱线与最佳成膜条件被引量：2
- 2005年
- 采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2混合气体为源气体的EACVD中的氢原子发射过程进行了模拟。研究了不同实验条件下产生的H、CH3的数目与氢原子谱线相对强度的关系,给出了一种利用氢原子谱线来获得最佳成膜实验条件的方法。本工作对于有效控制工艺条件,生长出高质量的金刚石薄膜具有重要意义。
- 董丽芳尚勇王志军
- 关键词：金刚石薄膜化学气相沉积
- 纳米金刚石薄膜的低温合成机理及非平衡反应动力学研究
- 赵庆勋董丽芳尚勇杨景发王银顺闫正等
- 该项目采用直流放电辉光等离子体辅助技术首次将EACVD合成高品质的金刚石薄膜温度从850度降为350度以下，探索了一条采用热丝化学气相沉积技术低温合成高品质金刚石薄膜的新途径；实现了对[CH<,4>+H<,2>]微弱信号...
- 关键词：
- 关键词：化学气相沉积纳米金刚石薄膜动力学
- 氢原子谱线测定EACVD中电子平均温度被引量：3
- 2005年
- 采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2 混合气体为原料气体的EACVD中氢原子的发射过程进行了模拟。在模拟中考虑了电子与H2 的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发、相应于Hα,Hβ,Hγ谱线的激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程;与CH4的碰撞考虑了弹性动量传输及振动激发、分解、电子激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程。研究了不同CH4浓度下基片表面上电子平均温度与氢原子谱线相对强度的关系,给出了一种对EACVD中电子平均温度进行实时监测的方法。对于有效控制工艺条件,生长出高质量的金刚石薄膜具有重要意义。
- 尚勇董丽芳王志军
- 关键词：EACVD平均温度氢原子电子激发CH4非弹性
- 晶粒尺寸和密度分布可控的硅基纳米材料的激光烧蚀沉积研究
- 彭英才王英龙尚勇
- 该项实验利用波长为308nm的Xecl脉冲准分子激光器，以高纯Si单晶片作为靶材料，通过掺入合适的Er原子浓度和选择适宜的环境气体，严格控制各种工艺条件，在SiO<,2>和石英表面上烧蚀沉积了具有尺寸和密度均匀分布的纳米...
- 关键词：
- 关键词：纳米晶粒纳米发光材料硅基纳米材料
- 提高掺铒硅基纳米材料发光效率的探索被引量：5
- 2005年
- 本文中, 我们以SiO2 介质镶嵌的纳米晶Si薄膜 (nc Si/SiO2 )作为基质, 将稀土离子Er掺入其中所形成的nc Si:Er3+ /SiO2 薄膜材料为主, 介绍了nc SiEr3+之间的能量转移过程, 探讨了实现各类掺Er的Si基纳米材料高效率发光的可能途径。这些方法主要包括: 增强nc SiEr3+的能转移效率,提高有效Er的掺杂浓度, 选择最佳的退火温度, 增加Er O发光复合体的浓度和制备新的Er掺杂Si基纳米结构等。这些方法对制备具有高发光效率的掺铒硅基纳米材料具有重要的实际意义。
- 彭英才傅广生王英龙尚勇
- 关键词：掺铒硅基发光效率SIO2薄膜稀土离子退火温度
- Si基光子晶体的制备与器件应用被引量：1
- 2007年
- 光子晶体是近十年来迅速发展起来的一种新型人工结构的功能材料。本文简要介绍了Si基光子晶体的主要特点;着重介绍了Si基光子晶体的几种主要制备方法,如精细干式蚀刻法、胶质晶体模板法、宏观多孔Si的电化学腐蚀、多光子聚合法和核壳结构纳米晶粒镶嵌法等;概要介绍了Si基光子晶体在Si基发光器件和Si基光波导器件中的应用。对目前存在的问题进行了讨论,并展望了它的未来发展趋势。
- 尚勇彭英才
- 介质阻挡放电流光模式中自组织斑图及其时空动力学研究
- 董丽芳贺亚峰范伟丽刘富成尹增谦刘书华尚勇陈文军冉俊霞刘微粒王红芳赵海涛赵增超齐玉妍李立春高瑞玲毛志国
- “介质阻挡放电流光模式中自组织斑图及其时空动力学研究”始于2001年，自2003年起先后得到国家自然科学基金（No. 10375015）、河北省自然科学基金（No. A2004000086）及教育部高等学校博士学科点专项...
- 关键词：
- 关键词：斑图气体放电时空动力学
