张万虎
- 作品数:10 被引量:11H指数:3
- 供职机构:西安应用光学研究所更多>>
- 相关领域:理学一般工业技术电子电信更多>>
- 绿色薄膜的膜系结构被引量:1
- 1999年
- 本文设计的高级次膜系结构G5M5H6L的特性是:膜层的光学厚度为绿色光谱中央波长5λ/4与6λ/4的叠加厚度;其光谱反射特性对绿色光谱具有高反射率。在绿色光谱中央波长λ两侧有4个极小反射率波长;对绿色光谱两侧的紫、蓝、青和黄、橙、红等6色光谱均具有低反射率的效果。欲求绿色的不同深浅程度,可选用nm、nh和nl的不同值进行组合。本文给出不同深浅绿色膜系结构的实例和镀制工艺程序。
- 黄祥成杨益民杨华张万虎
- 关键词:反射率镀膜
- 射频等离子体法制备类金刚石薄膜被引量:4
- 2003年
- 利用射频等离子体化学气相沉积法,以丁烷、氢气和氩气的混合气体为原料,在Φ200mm锗基片上沉积出均匀的类金刚石薄膜。研究类金刚石薄膜的特性及工艺参数对其性能的影响规律,给出应用于红外装置中的类金刚石薄膜镀膜元件光谱性能。
- 张万虎谭宇师建涛刘永强胡仓陆
- 关键词:类金刚石薄膜射频等离子体功率密度
- 一种氟化镁中波红外光学窗口高强度保护膜的膜系结构
- 本发明提出一种氟化镁中波红外光学窗口高强度保护膜的膜系结构,包括氟化镁基片和减反射高强度保护膜系,减反射高强度保护膜系由四个膜层叠加构成,第一膜层为氟化镁膜层,镀制在氟化镁基片的表面上,膜层厚度18~24nm;第二膜层为...
- 张建付杨崇民米高园张万虎刘青龙黎明王松林刘方杨建军金珂赵兴梅杨华梅王润荣董莹
- 文献传递
- 一种氟化镁中波红外光学窗口高强度保护膜的膜系结构
- 本发明提出一种氟化镁中波红外光学窗口高强度保护膜的膜系结构,包括氟化镁基片和减反射高强度保护膜系,减反射高强度保护膜系由四个膜层叠加构成,第一膜层为氟化镁膜层,镀制在氟化镁基片的表面上,膜层厚度18~24nm;第二膜层为...
- 张建付杨崇民米高园张万虎刘青龙黎明王松林刘方杨建军金珂赵兴梅杨华梅王润荣董莹
- 文献传递
- 射频等离子体法制备类金刚石薄膜
- 用射频等离子体他学气相沉积法,以丁烷、氢气和氩气的混合气体为原料,在φ200mm锗基片上沉积出了均匀的金刚石薄膜。研究了类金刚石薄膜的特性及工艺参数对其性能的影响规律,给出该膜应用于红外装置元件的光谱性能。关键词类金刚石...
- 张万虎谭宇师建涛刘永强胡仓陆黄祥成
- 文献传递
- 紫外光学薄膜的镀制结果被引量:3
- 1998年
- 介绍使镀膜设备具备镀紫外光学薄膜功能进行的技术改造,给出几种紫外光学薄膜的镀制结果。
- 黄祥成杨华杨益民王金堂张万虎师建涛
- 关键词:镀膜设备
- 一种用于大曲率透镜表面的0.532微米与1.064微米倍频减反射膜
- 本发明提出用于大曲率透镜表面的0.532微米与1.064微米倍频减反射膜,包括透明基片和减反射膜系,减反射膜系由高折射率介质膜层和低折射率膜层交替叠加的12个膜层构成,适用于曲率半径与口径之比不小于1的大曲率透镜表面,且...
- 刘永强杨崇民王养云王颖辉张建付韩俊张万虎李明伟金柯
- 文献传递
- 透0.45μm~1.6μm反8μm~12μm宽光谱分色滤光片的制备被引量:3
- 2009年
- 光谱分色滤光片对成像光谱技术至关重要,是实现光电仪器体积小、质量轻的一个重要器件。根据金属膜具有高反射率的特点和可以进行诱增透的原理,介绍了透0.45μm^1.6μm反8μm^12μm光谱分色滤光片的膜料选择和膜系设计,并应用JGP560A2型磁控溅射镀膜机制备出了光谱性能和理化性能较好的宽光谱分色滤光片,其光谱性能达到0.45μm^1.6μm波段范围内,平均透过率大于80%;8μm^12μm波段范围内,平均反射率大于91%。
- 刘永强杨益民杨崇民张万虎张建付王颍辉
- 关键词:磁控溅射
- 立方棱镜二向色分光膜消倍频反射峰的设计
- 2010年
- 立方棱镜二向色分光镜是实现多光谱共光路的重要器件。立方棱镜二向色分光镜因偏振效应而在高级次倍频处出现高反射峰,严重影响了短波区的透过率。利用虚设层概念,设计出了400 nm^900 nm波段高透过、1 064 nm激光波段高反射的立方棱镜二向色分光镜。给出了消除倍频反射峰的有效方法,并成功制作出光学性能优良的样品。采用这种设计方法获得的膜系结构简单,膜层数量少,材料选择广泛,对工艺要求简单,便于工艺实现,可重复性好。
- 张建付杨崇民李明伟韩晓云刘永强张万虎
- 关键词:偏振倍频
- 一种用于大曲率透镜表面的0.532微米与1.064微米倍频减反射膜
- 本发明提出用于大曲率透镜表面的0.532微米与1.064微米倍频减反射膜,包括透明基片和减反射膜系,减反射膜系由高折射率介质膜层和低折射率膜层交替叠加的12个膜层构成,适用于曲率半径与口径之比不小于1的大曲率透镜表面,且...
- 刘永强杨崇民王养云王颖辉张建付韩俊张万虎李明伟金柯
- 文献传递