徐俊艳
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：辽宁工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺理学一般工业技术更多>>
- 盘形超声压电振子的抛光实验研究
- 2013年
- 应用盘形超声压电振子在抛光实验装置上对硅片进行了化学机械抛光,比较了附加行波超声振动的化学机械抛光与传统化学机械抛光的实际效果,实验结果表明,在相同的实验工况下,施加行波超声振动相对于不施加振动,能明显改善硅片化学机械抛光的表面质量。振子振幅的增大对改善硅片表面质量有利。
- 何勍徐俊艳刘政
- 关键词：行波超声振动硅片化学机械抛光
- 行波超声振动抛光实验装置的研究被引量：1
- 2013年
- 为研究环形行波压电振子的硅片超声复合抛光工艺,改装现有钻床,研制出一种可控转速的超声抛光实验装置,该装置主轴的转速通过变频器可在0～3 150r/min范围内调节,从而实现不同线速度的抛光需求。实验装置将USR30超声电机振子改造为具有装夹圆柄和抛光垫的抛光压电振子。改造后的振子的实际模态测试表明,装夹圆柄的安装并未改变原有超声电机振子的驱动频率。抛光实验过程中,抛光振子(含抛光垫)只做微观超声振动,而振子齿面下方的硅片做宏观的旋转运动,抛光垫与硅片之间注入一定流速的抛光液实现抛光。吸盘与动密封装置相联并通过主轴实现正(反)向旋转。为了研究压力对抛光表面质量的影响,该超声振动实验装置专门设计了重力加压装置,实现抛光振子与硅片之间的接触压力调节。该实验装置可完成改变抛光转速、抛光压力、抛光时振子表面振幅的大小及抛光液流量粒度等参数在不同工况下的抛光实验。
- 徐俊艳陈晔刘政何勍
- 关键词：行波超声振动化学机械抛光硅片
