曹春海 作品数:63 被引量:63 H指数:5 供职机构: 南京大学 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国家重点基础研究发展计划 国家高技术研究发展计划 更多>> 相关领域: 电子电信 理学 一般工业技术 电气工程 更多>>
电子束曝光制备Al/AlOx/Al超导隧道结 超导约瑟夫森隧道结是实现超导量子比特的基本单元,传统的紫外线曝光难以制备微桥宽度小于1 微米的超导约瑟夫森结。采用电子束曝光法对双层胶进行曝光制备几百纳米的悬空掩膜结构,再利用电子束斜蒸发系统原位氧化制备超导约瑟夫森结;... 刘奥谱 曹春海 王海萍 康琳 许伟伟 陈健 吴培亨关键词:电子束曝光 基于超导薄膜的太赫兹波段可调谐人工特异材料 张彩虹 吴敬波 金飚兵 陈健 康琳 许伟伟 曹春海 吴培亨三维传输子量子比特制备研究 被引量:1 2019年 研究了三维传输子(3D-transmon)量子比特的制备技术。采用电子束光刻技术制备亚微米双层胶悬空掩模,电子束斜蒸发技术制备Al/AlOx/Al超导隧道结。将隧道结与三维谐振腔耦合,成功实现3D-transmon。在20 mK下测试了量子比特的能级跃迁频率、拉比振荡、能量弛豫时间t1等性能,t1约566 ns。t1较短的原因是量子比特跃迁频率与三维谐振腔频率接近,耦合过紧。 刘奥谱 曹春海 卢盛 李永超 潘佳政 涂学凑 孙国柱 陈健 许伟伟 吴培亨关键词:隧道结 量子比特 铌基超导隧道结直接检测器制备研究 超导隧道结是超导电子学的核心单元,高质量隧道结的制备技术对超导电子学的发展带来深刻的影响。在超导直接检测器的研究中,高质量超导隧道结是实验研究的关键。开展了超导太赫兹直接检测器的制备研究,重点研究了高品质的Nb/Al-A... 王海萍 曹春海 刘奥谱 康琳 许伟伟 陈健 吴培亨关键词:超导隧道结 太赫兹 超导量子比特中铝超导隧道结的性能 被引量:2 2011年 超导隧道结约瑟夫森结是超导量子比特的基本元件.用双层光刻胶构成悬空掩模,用电子束斜蒸发的方法制备Al/Al2O3/Al隧道结,用一定的氧气气压氧化铝膜作为势垒层.势垒层质量直接影响铝超导隧道结的各项电学参数.深入研究了铝超导隧道结的超导临界电流密度Jc和面积归一化电阻Rc(正常态电阻RN与结面积的乘积)与势垒层生长条件的关系,通过改变势垒层生长的氧分压与氧化时间来控制铝超导隧道结的Jc和Rc,以使此工艺所制备的铝隧道结漏电流小,结参数易于控制,满足制备超导量子比特的要求. 沈丹丹 朱冉 许伟伟 常俊杰 吉争鸣 孙国柱 曹春海 陈健关键词:隧道结 电子束蒸发 超导量子比特 非掺杂AlGaN/GaN微波功率HEMT 被引量:14 2004年 报道了研制的 Al Ga N / Ga N微波功率 HEMT,该器件采用以蓝宝石为衬底的非掺杂 Al Ga N/ Ga N异质结构 ,器件工艺采用了 Ti/ Al/ Ni/ Au欧姆接触和 Ni/ Au肖特基势垒接触以及 Si N介质进行器件的钝化 .研制的 2 0 0μm栅宽 T型布局 Al Ga N / Ga N HEMT在 1.8GHz,Vds=30 V时输出功率为 2 8.93d Bm,输出功率密度达到 3.9W/mm ,功率增益为 15 .5 9d B,功率附加效率 (PAE)为 4 8.3% .在 6 .2 GHz,Vds=2 5 V时该器件输出功率为 2 7.0 6 d Bm ,输出功率密度为 2 .5 W/ mm ,功率增益为 10 .2 4 d B,PAE为 35 .2 % . 陈堂胜 焦刚 薛舫时 曹春海 李拂晓关键词:宽禁带半导体 ALGAN/GAN 高电子迁移率晶体管 低损耗和磁调谐的超导THz人工电磁材料 金飚兵 康琳 吴培亨 张彩虹 Sebastian Engelbrecht Andrei Pimenov 吴敬波 许钦印 曹春海 陈健 许伟伟超导太赫兹直接检测器的制备技术研究 2018年 本文研究了超导太赫兹直接检测器的制备流程和关键工艺技术,采用步进投影式光刻技术,来满足检测器对小面积超导隧道结和高频宽带匹配电路的高精度尺寸要求。实验获得了Nb膜反应离子刻蚀形成约42°斜坡角度的刻蚀气体CF4/O2比,解决了超导微带线在天线边缘处容易断线问题,成功制备出超导太赫兹直接检测器样品。 王海萍 曹春海 刘奥谱 徐祖雨 孙国柱 陈健 许伟伟 吴培亨关键词:隧道结 欧姆接触电阻率的精确测量方法 被引量:5 2005年 分析了一般测量接触电阻率的TLM模型以及“端电阻”修正模型的缺点,提出了一种新的接触电阻率的测试方法。此方法模型精确,常规测试条件下容易得到误差小于1%的相关测试量的值,使接触电阻率的测试误差小于5%。 曹春海关键词:传输线模型 接触电阻率 测量方法 超导HEB混频器的设计与制备 被引量:1 2009年 展示了一种基于超导NbN薄膜材料的HEB混频器的设计与制备工艺,详细介绍了高阻硅衬底上的超薄NbN薄膜的生长技术、HEB器件的结构、超导微桥区和平面等角螺旋天线的阻抗匹配等内容.测量研究了超导NbN HEB的电阻-温度(R-T)曲线、不同温度下的电流-电压(I-V)曲线以及HEB对太赫兹(THz)信号的响应特性.用Y因子方法测量了HEB器件的噪声温度,在2.5THz的太赫兹波辐照下,其最低噪声温度为2213K. 王金平 康琳 王玉 钟杨音 梁敏 陈健 曹春海 许伟伟 吴培亨关键词:平面等角螺旋天线 噪声温度