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李文兵

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 3篇调谐
  • 3篇可调
  • 3篇可调谐
  • 3篇空气隙
  • 3篇分子束
  • 3篇分子束外延
  • 2篇悬臂
  • 2篇悬臂结构
  • 2篇微光机电系统
  • 2篇刻蚀
  • 2篇光机
  • 2篇光机电
  • 2篇干法刻蚀
  • 2篇波长
  • 2篇波长可调
  • 2篇波长可调谐
  • 1篇电器件
  • 1篇砷化铝
  • 1篇砷化镓
  • 1篇砷化镓衬底

机构

  • 5篇中国科学院

作者

  • 5篇李文兵
  • 4篇朱彬
  • 4篇韩勤
  • 4篇杨晓红
  • 3篇秦龙
  • 3篇鞠研玲
  • 2篇杜云
  • 2篇倪海乔

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2010
  • 1篇2009
  • 1篇2008
  • 1篇2007
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种制作基于微光机电系统的波长可调谐滤波器的方法
本发明公开了一种制作基于微光机电系统的波长可调谐滤波器的方法，该方法包括：用分子束外延方法生长用于制作滤波器的外延片；对该外延片进行清洗，并对该外延片进行第一次光刻，光刻出单悬臂图形；采用电感耦合等离子体刻蚀方法对该具有...
秦龙韩勤杨晓红朱彬鞠研玲李文兵
一种利用稀盐酸选择腐蚀砷化铝制作空气隙结构的方法
一种利用稀盐酸选择腐蚀砷化铝牺牲层制作空气隙结构的方法，包括如下步骤：a>用分子束外延技术在(001)砷化镓衬底上生长带有砷化铝牺牲层的结构，砷化铝牺牲层上是由砷化镓和砷化铝镓构成的分布布拉格反射镜；b>在晶...
李文兵韩勤秦龙杨晓红倪海乔杜云朱彬鞠研玲
文献传递
MOEMS垂直腔可调谐光电器件的理论模拟及关键工艺的探索
随着下一代高容量、高速光通讯网络的发展，DWDM技术已经成为以光纤为基础的光信息数据传输中的关键技术。DWDM信道数目的增加，需要对波长进行监控，对光网络进行迅速的重新配置。波长可调谐器件在DWDM系统中，有着广泛的应用...
李文兵
一种制作基于微光机电系统的波长可调谐滤波器的方法
本发明公开了一种制作基于微光机电系统的波长可调谐滤波器的方法，该方法包括：用分子束外延方法生长用于制作滤波器的外延片；对该外延片进行清洗，并对该外延片进行第一次光刻，光刻出单悬臂图形；采用电感耦合等离子体刻蚀方法对该具有...
秦龙韩勤杨晓红朱彬鞠研玲李文兵
文献传递
利用C_6H_8O_7/H_2O_2溶液对Al_xGa_(1-x)As/GaAs的选择性腐蚀制作空气腔结构的研究
2007年
针对MEMS(micro-electro-mechanical system)工艺中牺牲层的选择性腐蚀问题,提出了一种判断牺牲层是否完全腐蚀的新方法,解决了这一工艺难点。测定了C6H8O7/H2O2溶液对GaAs的腐蚀速率,并采用这种方法选择性腐蚀了一个带有GaAs牺牲层的DBR(distributed bragg reflector)结构,得到一个空气腔结构,结合GaAs的晶体结构,分析了GaAs的各向异性腐蚀特性,为实际MEMS器件的制作奠定了基础。
李文兵韩勤杨晓红杜云朱彬倪海乔
关键词：MEMS
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