李欣幸
- 作品数：27 被引量：8H指数：2
- 供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院科研装备研制项目中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学机械工程更多>>
- 一种射频单电子晶体管扫描探针及其应用
- 本发明涉及纳米器件及纳米加工技术，尤其是一种射频单电子晶体管扫描探针的结构及其应用。这种射频单电子晶体管扫描探针，包括一端呈针形的凸出部的SOI衬底，还包括集成在所述SOI衬底上、相互匹配的射频共振电路及单电子晶体管；所...
- 吕利秦华李欣幸孙建东张晓渝
- 文献传递
- 一种基于单电子晶体管的电荷探针及其制备方法
- 一种基于单电子晶体管（SET）的电荷探针及其制备方法，SET集成在探针悬臂梁的针尖端面，所述SET的源极、漏极、侧栅极和库仑岛埋嵌在探针悬臂梁针尖端面的二氧化硅中，所述电荷探针，以绝缘衬底上的硅（Silicon‑On‑I...
- 方靖岳李欣幸王飞张学骜秦华常胜利秦石乔
- 文献传递
- 一种射频单电子晶体管扫描探针及其应用
- 本发明涉及纳米器件及纳米加工技术，尤其是一种射频单电子晶体管扫描探针的结构及其应用。这种射频单电子晶体管扫描探针，包括一端呈针形的凸出部的SOI衬底，还包括集成在所述SOI衬底上、相互匹配的射频共振电路及单电子晶体管；所...
- 吕利秦华李欣幸孙建东张晓渝
- 4.2K硅辐射热太赫兹探测器的响应度校准（英文）被引量：1
- 2015年
- 提出一种基于标准黑体辐射源对宽谱太赫兹探测器进行响应度定标的方法.该方法包含一个直线型校准装置、两个定标流程和相应的模拟程序.考虑实验室温度、湿度和低通滤波器的透射特性,用该方法实现了4.2K硅辐射热太赫兹探测器的响应度定标.对黑体辐射的傅里叶变换光谱进行测试,验证了定标程序和定标结果.分析定位了定标装置的三种主要误差来源,并提出相应的改进措施.所提定标方法适用于热释电太赫兹探测器、微型辐射热太赫兹探测器等宽谱太赫兹探测器的响应度定标.
- 郑中信余耀孙建东李欣幸秦华涂学凑陈健
- 关键词：太赫兹探测器响应度黑体滤波器
- 基于量子点的单电子自旋过滤器及单电子自旋过滤方法
- 一种基于量子点的单电子自旋过滤器及单电子自旋过滤方法，主要组成部分是单电子晶体管，单电子晶体管具有库仑岛、源极、漏极和栅极，量子点作为单电子晶体管的库仑岛，库仑岛与源极和漏极以隧穿势垒连接，库仑岛与栅极以电容形式耦合；单...
- 方靖岳李永强李欣幸秦华常胜利秦石乔
- 一种基于单电子晶体管的电离式气敏传感器及其制备方法
- 一种基于单电子晶体管的电离式气敏传感器及其制备方法，以阳极、阴极和库仑岛为气敏传感器的基本结构，阳极、阴极和库仑岛设置在硅基片表面形成的二氧化硅衬底上，库仑岛位于阳极和阴极之间，且库仑岛与阳极和阴极之间的距离是非对称的。...
- 方靖岳王飞李欣幸乔帅张学骜秦华常胜利秦石乔
- 基于铁电薄膜的太赫兹调制器及其制作方法
- 本发明公开一种基于铁电薄膜的太赫兹调制器及其制作方法。所述太赫兹调制器包括：介质基板，其对太赫兹波具有较高的透过率；多个铁电薄膜单元，阵列排布在所述介质基板上；太赫兹滤波结构，设置在所述介质基板和所述多个铁电薄膜单元上，...
- 张晓渝张力力李欣幸吕利秦华
- 文献传递
- 扫描探针及其制备方法
- 本发明提供了一种扫描探针及其制备方法。所述扫描探针包括：衬底，包括平板部以及由所述平板部的一端延伸的呈针形的凸出部；静电探针，设置于所述凸出部之上；单电子晶体管，设置于所述平板部之上且与所述静电探针相对。所述制备方法包括...
- 秦华刘永涛李欣幸张志鹏
- 文献传递
- 太赫兹探测器读出电路的单电子晶体管制备被引量：2
- 2017年
- 射频单电子晶体管具有高电荷灵敏度和高读出速率的特点,可用于超导太赫兹单光子探测器产生的微弱电荷信号的读出。采用绝缘体上硅(SOI)材料制备的硅基单电子晶体管具有结构可控、工艺可重复的优点。但是,目前单电子晶体管的成品率约为30%,难以满足探测器阵列化的需求。为进一步提高单电子晶体管成品率,首先采用电子束零宽度线曝光工艺精确设定单电子晶体管的图形,其次对感应耦合等离子体刻蚀工艺中的气氛比例进行优化,实现电子束曝光图形的良好转移。最后通过降低氧化温度进一步保持了图形转移的准确度。单电子晶体管的隧穿势垒宽度得到了良好的控制,使成品率提高到90%,增强了单电子晶体管作为阵列化超导太赫兹单光子探测器读出电路的可行性。
- 刘永涛李欣幸张志鹏方靖岳秦华俞圣雯
- 关键词：单电子晶体管
- 单电子晶体管与原子力扫描探针的集成
- 2017年
- 单电子晶体管(SET)可用作超灵敏电荷计,将SET集成到原子力扫描探针上,可得到对被测样品的表面形貌和电荷空间分布扫描成像。介绍了一种硅基台阶型原子力扫描探针与SET的集成方案。一对共漏极的SET集成在台阶型针尖上,台阶型的针尖和静电探针的设计避免了SET的刻蚀损伤。通过SET和静电探针的电容耦合来实现电荷探测。将扫描探针与石英音叉进行组装,在8 K低温下成功实现了间距2μm金属光栅10°倾角的形貌扫描,并获得形貌图,针尖上的SET具有良好的库仑阻塞效应和单电子隧穿特性。
- 刘永涛李欣幸张志鹏秦华俞圣雯
- 关键词：石英音叉
