武宇
- 作品数：13 被引量：10H指数：2
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院知识创新工程更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程航空宇航科学技术电子电信更多>>
- 集成温湿度大气压力传感器芯片
- 一种集成温湿度大气压力传感器芯片，在基片制造出三个电阻和一个平板电极。其中两个电阻串连构成电桥的两个臂，用于测量绝对湿度，另一个电阻单独引线，用于测量温度。在基片上键合有一硅片，该硅片上对应一个测量湿度电阻和一个测量温度...
- 赵湛张博军武宇方震
- 文献传递
- 基于MEMS技术的温湿传感器模拟和设计
- 基于MEMS技术设计的集成温湿度传感器具有体积小、成本低、易集成等特点,并可大大提高器件的一致性,可靠性,易形成批生产能力.本文首先从理论上分析了利用热电原理测量空气绝对湿度的可行性,然后利用有限元分析方法对湿度传感器进...
- 方震赵湛武宇陈超张博军
- 关键词：有限元分析方法计算机模拟MEMS技术湿度传感器
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- 基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器
- 微型化、集成化可以使得传感系统减少体积、重量,降低成本,提高系统的可靠性,具有重要的科学意义。基于聚酰亚胺材料,利用MEMS技术,设计了一个用于测量大气湿度、温度和气压检测的微型集成传感器。分别采用湿敏电容、铂电阻法和聚...
- 武宇赵湛方震张博军
- 关键词：集成传感器MEMS聚酰亚胺
- 文献传递
- 探空温湿压集成传感器的研究
- 探空温湿压集成传感器,是一种将温度、湿度、气压传感器集成在一个芯片上的微型集成传感器,主要用于航天器升空前的空中气压、温度、湿度数据的测量.传统的温湿压传感器体积大、元件分立、成本高,难以满足现代航空航天发展的要求,因此...
- 武宇
- 关键词：MEMS聚酰亚胺
- 文献传递
- 集成温湿度大气压力传感器芯片
- 一种集成温湿度大气压力传感器芯片，在基片制造出三个电阻和一个平板电极。其中两个电阻串连构成电桥的两个臂，用于测量绝对湿度，另一个电阻单独引线，用于测量温度。在基片上键合有一硅片，该硅片上对应一个测量湿度电阻和一个测量温度...
- 赵湛张博军武宇方震
- 文献传递
- 基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器被引量：6
- 2004年
- 微型化、集成化可以使得传感系统减少体积、重量,降低成本,提高系统的可靠性,具有重要的科学意义。基于聚酰亚胺材料,利用MEMS技术,设计了一个用于测量大气湿度、温度和气压检测的微型集成传感器。分别采用湿敏电容、铂电阻法和聚酰亚胺薄膜对湿度、温度、压力进行检测,并且进行了理论计算,设计了加工工艺步骤,制作出雏形器件。
- 武宇赵湛方震张博军
- 关键词：集成传感器MEMS聚酰亚胺
- 基于MEMS技术的集成温湿传感器研制被引量：1
- 2004年
- 基于MEMS技术设计的集成温湿度传感器具有重量轻、体积小、成本低、易集成等特点,并可大大提高器件的一致性,可靠性,易形成批量生产能力。从理论上分析了利用热电原理测量空气相对湿度的可行性、集成温湿传感器的结构,以及具体测量方法。重点介绍了湿度部分的测量,证实所设计的集成传感器有良好性能。
- 方震武宇赵湛张博军
- 关键词：MEMS技术
- 聚合材料气压传感器芯片
- 本发明涉及传感技术领域，特别是一种采用聚合材料制作的气压传感器芯片的结构和制作方法。本发明的气压传感器芯片，在制造过程中以聚合材料作为压力敏感薄膜。在玻璃片或硅片等基片上制作一个平板电极及其引线。用SU-8胶、聚酰亚胺等...
- 赵湛武宇秦宁
- 文献传递
- 探空集成传感器设计
- 微型化、集成化可以使得传感系统减少体积、重量,降低成本,提高系统的可靠性,具有重要的科学意义.本文设计了一个用于测量大气湿度、温度和气压检测微型集成传感器.考虑到MEMS加工工艺兼容性,分别采用空气导热检测法、铂电阻法和...
- 武宇方震赵湛陈超张博军
- 关键词：集成传感器微机电系统
- 文献传递
- 探空微型电容压力传感器设计
- 气压的测量在航空航天、气象预报、环境检测等领域中具有重要的意义.微型电容压力传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高的优点,在气体压力测量中被广泛应用.本文根据前人科研成果,分析了微型电容压力传感器的优缺点,以及在设计过程中常...
- 武宇赵湛方震陈超张博军
- 关键词：电容压力传感器MEMS
- 文献传递
