您的位置： 专家智库 > >

王旭迪

作品数：122 被引量：107H指数：6
供职机构：合肥工业大学机械与汽车工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划安徽省自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信理学化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 59篇专利
  • 54篇期刊文章
  • 7篇会议论文
  • 2篇学位论文

领域

  • 50篇一般工业技术
  • 12篇电子电信
  • 7篇理学
  • 4篇化学工程
  • 4篇自动化与计算...
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇电气工程
  • 1篇机械工程
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇航空宇航科学...
  • 1篇核科学技术
  • 1篇文化科学

主题

  • 24篇纳米
  • 18篇流导
  • 18篇漏孔
  • 18篇键合
  • 17篇光刻
  • 15篇光栅
  • 13篇刻蚀
  • 12篇标准漏孔
  • 11篇漏率
  • 11篇光刻胶
  • 11篇分子流
  • 10篇纳米流体
  • 7篇真空
  • 7篇流控
  • 7篇纳米压印
  • 6篇多孔
  • 6篇旋涂
  • 6篇真空泵
  • 6篇溅射
  • 6篇磁控

机构

  • 117篇合肥工业大学
  • 13篇中国科学技术...
  • 8篇北京卫星环境...
  • 2篇中国科学院等...
  • 1篇安徽大学
  • 1篇上海交通大学
  • 1篇西北核技术研...
  • 1篇中航工业北京...
  • 1篇中国电子科技...
  • 1篇合肥电力规划...
  • 1篇安徽凯盛基础...
  • 1篇浙江赛威科光...

作者

  • 122篇王旭迪
  • 18篇金建
  • 18篇尉伟
  • 17篇李鑫
  • 14篇郑正龙
  • 12篇陈长琦
  • 12篇张俊
  • 11篇邱克强
  • 9篇涂吕星
  • 9篇付绍军
  • 9篇朱爱青
  • 8篇郑丁杰
  • 8篇董栋
  • 8篇刘玉东
  • 8篇赵永恒
  • 7篇王君
  • 7篇胡焕林
  • 7篇孙立臣
  • 7篇汤启升
  • 6篇方应翠

传媒

  • 25篇真空科学与技...
  • 18篇真空
  • 3篇真空与低温
  • 2篇流体机械
  • 2篇合肥工业大学...
  • 2篇华东三省一市...
  • 1篇量子电子学报
  • 1篇中国科学技术...
  • 1篇红外
  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇中国真空学会...
  • 1篇中国真空学会...

年份

  • 1篇2024
  • 10篇2023
  • 12篇2022
  • 11篇2021
  • 8篇2020
  • 7篇2019
  • 4篇2018
  • 5篇2017
  • 6篇2016
  • 4篇2015
  • 4篇2014
  • 5篇2013
  • 12篇2012
  • 5篇2011
  • 2篇2010
  • 3篇2009
  • 3篇2008
  • 1篇2006
  • 6篇2005
  • 4篇2004
共 122 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
真空测试与计量技术最新进展
由于极紫外光刻技术、大科学工程和国防航天等方面的需求，真空计量及测试是近年来真空技术发展最为活跃的领域。本文将介绍包括美国NIST、德国PTB、欧盟计量研究计划、合肥工业大学在内的国内外研究机构在真空测量新方法新原理、测...
王旭迪
小型高效自热式天然气制氢设备
小型高效自热式天然气制氢设备，具有卷式换热器，其特征是在卷式换热器的中心柱腔内，与进气通道连通的气流入口位于中心柱腔侧壁的底部，与排烟通道连通的烟气出口位于中心柱腔侧壁的顶部；中心柱腔由网状格栅分隔为上部反应腔和下部预混...
唐志国程建萍陈长琦王旭迪孟抒
文献传递
一种保持柔性容器内外压差恒定装置
本发明适用于保持柔性容器内外压差恒定，目的是在大气环境、温度波动和自身缺陷的多重影响下，为保持柔性容器内外压差恒定，提供一种保持柔性容器内外压差恒定装置。本发明装置包括；第一阀门、电磁阀、高压气瓶、PLC控制系统、柔性容...
王旭迪王永健姜彪尉伟杨丹邱克强魏本猛寇钰
文献传递
几种光学材料的离子束刻蚀微结构研究
本文对以光刻胶为掩模，通过离子束刻蚀在HfO2薄膜、石英和BK7玻璃等基底材料上制作微纳米结构进行了系统的研究。根据材料刻蚀特性，试图提出完善的刻蚀工艺路线。　　 首先，综述了Kaufman、感应耦合等离子体(...
王旭迪
关键词：光学材料离子束刻蚀刻蚀速率
文献传递
逆向热键合技术制作尺寸可控的微纳米流体系统
本发明公开了一种逆向热键合技术制作尺寸可控的微纳米流体系统的方法，首先在预处理过的光栅模板上涂覆一层SU-8光刻胶，通过逆向压印技术将图形复制到SU-8光刻胶上，然后根据各向界面间的粘附能不同的原理，使用UV胶带将固化的...
王旭迪涂吕星刘玉东陶伟王时飞
文献传递
卷对卷纳米压印脱模过程的有限元模拟被引量：7
2012年
本文提出卷对卷纳米压印脱模的两种形式并分析了脱模过程中的阻力。选取垂直于光栅形微结构的截面作为研究对象,忽略脱模过程中旋转角度的影响,将模板上微结构当作竖直平移脱离胶层的方式来处理,利用ANSYS有限元软件模拟了卷对卷脱模过程中不同位置的变形和等效应力分布。结果显示脱模过程中出现两处应力集中,且应力集中处的最大应力在脱模刚发生时出现波动,随后逐渐增大。
汤启升金建李鑫郑正龙王旭迪
关键词：脱模有限元分析
基于微细颗粒固物浆料脱水离心分离机特性的分析研究被引量：1
2003年
从微细颗粒饼状物的流动和进浆料的有效加速出发 ,分析新型卧螺沉降离心分离机的特性 ,在不同运行状态下饼状物流动的可控调节 ,并对高微细颗粒固物含量浆料的脱水干燥进行了研究 ,为新型卧螺沉降离心分离机的结构设计提供了理论依据。
朱武陈长琦王旭迪王君叶建忠
关键词：卧螺离心机微细颗粒脱水离心分离
低压键合制作微纳米流控系统的方法
本发明公开了一种低压键合制作微纳米流控系统的方法，其特征是首先以玻璃片为基底，制得具有光栅图形的KMPR母版，并制得到PDMS软印章；再利用PDMS软印章制得后续制作纳米通道的光栅纳米尺寸结构Si基底；另取PET片制得具...
王旭迪金建李鑫汤启升郑正龙
文献传递
一种通过正负光刻胶复合显影制备微纳米流体系统的方法
本发明公开了一种通过正负光刻胶复合显影制备微纳米流体系统的方法，是首先以玻璃片为基底，制备具有光栅图形的正光刻胶层，接着在正光刻胶层的表面镀上一层SiO<Sub>2</Sub>薄膜，随后在所述SiO<Sub>2</Sub...
王旭迪金建郑正龙李鑫汤启升
文献传递
一种基于微流控技术的微透镜阵列制作方法
本发明公开了一种基于微流控技术的微透镜阵列制作方法，其特征在于将微流控技术用于微透镜阵列的制作上，通过向具有小孔阵列的微流控芯片中注入水，并在水压力的作用下使得超薄PDMS变形，并利用PUA与PDMS的相互复制工艺，实现...
金建王旭迪邸思林文豫孙学通
文献传递
全选 清除 导出
共13页<12345678910>
聚类工具0