蒲以康
- 作品数:50 被引量:204H指数:7
- 供职机构:清华大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划高温高密度等离子体物理国家重点实验室更多>>
- 相关领域:理学机械工程电子电信一般工业技术更多>>
- 低温等离子体光谱诊断
- 朱悉铭陈文聪蒲以康
- 对当前的低温等离子体科研领域而言,如何在不干扰等离子体的情况下,有效地诊断等离子体的关键物理参数,如电子温度和电子密度,是一个国际性难题。要解决这个问题,光谱诊断是一种可行的手段。但是,以前的光谱诊断的实验测量结果和理论...
- 关键词:
- 多光栅真空紫外光谱仪
- 本发明公开了一种多光栅真空紫外光谱仪。所述多光栅真空紫外光谱仪包括:真空件,真空件内具有真空腔,真空腔的壁上设有入口狭缝;凹面光栅阵列,凹面光栅阵列设在真空腔内,凹面光栅阵列包括多个沿第一方向排列的凹面光栅,第一方向垂直...
- 程治文蒲以康陈良尧谭熠
- 文献传递
- 电子回旋共振氩等离子体中亚稳态粒子数密度及电子温度的测量被引量:8
- 2005年
- 测量了电子回旋共振 (ECR)氩等离子体中Ar的 1s5亚稳态粒子数密度 ,在气压为 0 2— 0 8Pa、功率为 5 0 0—70 0W的范围内 ,利用吸收光谱法测量了Ar原子 811 5nm谱线的吸收强度 ,得到 1s5亚稳态粒子数密度为 1× 10 1 5—4× 10 1 5m- 3.本文综合考虑基态和 1s5亚稳态粒子的激发对Ar发射谱线强度的贡献后 ,用两条发射谱线强度之比得到电子温度 .结果表明 ,计入了 1s5亚稳态激发的贡献后 ,所得到的电子温度与只考虑基态的贡献得到的电子温度相比存在较大的差别 .
- 陈卓何威蒲以康
- 关键词:电子回旋共振氩等离子体亚稳态
- 调研我国等离子体材料处理方面的教材情况
- 2006年
- 在调研世界和我国等离子体刻蚀技术的发展现状的基础上,分析我国急需培养的等离子体材料处理方面的几类不同人才;然后对培养不同人才所需要的教材提出不同的理想指标;最后根据这个理想框架,重点对市面上销售的主要中文、英文相关书籍进行分析比较,列出其主要内容和适合阅读对象,希望读者能够方便地选择出适合自己的教材。调研结果表明,中文相关书籍基本上都不适合作为教材使用,而英文相关书籍是我们值得学习借鉴的。
- 黄梦琦蒲以康
- 关键词:集成电路
- 射频功率测量系统
- 本发明提出一种射频功率测量系统,包括:用于传输射频功率信号的同轴功率传输装置,包括内导体棒和外导体环,内导体棒套设在外导体环内;电压探头,设置在外导体环上,用于检测同轴功率传输装置的射频电压信号;第一电流探头和第二电流探...
- 高岛圭介陈文聪蒲以康
- 研究等离子体与材料表面相互作用的XPS分析方法及系统
- 本发明提出一种研究等离子体与材料表面相互作用的XPS分析方法及系统,其中系统包括:加载互锁腔体、等离子体放电腔体和分析腔体。加载互锁腔体用于将样品传送至等离子体放电腔体或分析腔体;等离子体放电腔体与加载互锁腔体相连,用于...
- 李江涛王振斌蒲以康
- 文献传递
- 低温等离子体辅助制备纳电子器件单元机理的研究
- 蒲以康
- 摘要:纳电子器件单元是由导体、半导体、绝缘体的纳米点、线、膜在纳米尺度下组装而成的。该项目利用射频或电子回旋共振等离子体辅助化学气相沉积技术,制备不同结构和性质的金属纳米点、半导体纳米线和绝缘纳米薄膜;以创新性的、有良好...
- 关键词:
- 波长连续可调的高稳定宽带紫外光源发射装置
- 本发明提出一种波长连续可调的高稳定宽带紫外光源发射装置,包括:积分球,包括进光口和出光口,用于将由进光口照射的光线进行混合,并由出光口发射;至少一个紫外光源;准直管;衍射装置,包括光栅,光栅位于准直管的另一端,以将由多个...
- 刘飞翔蒲以康
- 文献传递
- 等离子体源装置
- 本发明提出一种等离子体源装置,包括:腔室,用于产生等离子体;串联的多个电感装置,每个电感装置包括磁芯和缠绕磁芯的线圈,多个电感装置均匀地围绕腔室的外周壁设置;电介质层,位于腔室和电感装置之间,用于将等离子体与线圈隔离开;...
- 黄邦斗蒲以康
- 文献传递
- 第七届中英庚款留学生的出国求学之路被引量:2
- 2021年
- 通过分析民国时期的一些历史资料和林家翘先生保存的护照、信件和相关证书,试图描述第七届中英庚款留学生的出国经历,并对媒体根据钱伟长和李佩二位先生回忆所报道的一些细节,提出了疑问,得出与以往历史研究不同的结论。
- 蒲以康
- 关键词:第二次世界大战郭永怀