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薛虹
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48
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H指数:3
供职机构:
中国科学院电工研究所
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国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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合作作者
韩立
生物电磁学北京市重点实验室北京...
方光荣
中国科学院电工研究所
初明璋
生物电磁学北京市重点实验室北京...
顾文琪
中国科学院电工研究所
殷伯华
中国科学院电工研究所
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薛虹
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韩立
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初明璋
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顾文琪
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2001
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2000
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1999
3篇
1997
1篇
1996
共
48
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实用化电子束曝光机的真空系统
本文简述了实用化电子束曝光机真空系统设计要求、系统组成、真空自动控制及设备所达到的真空指标.
薛虹
顾文琪
刘俊标
初明璋
唐晖
徐彧
关键词:
电子束曝光
自动控制
真空系统
文献传递
基于DSP-FPGA高速控制系统的应用研究
2014年
为了满足应用对控制系统高速高精度的要求,本文将原子力显微镜作为控制对象,主要研究基于DSP—FPGA控制系统设计中的关键技术问题。包括各模块的功能划分、模块间通讯模式设计并以单行扫描为例进行编程说明。随后将PID算法嵌入FPGA,对大范围快速原子力显微镜的单点测试做闭环反馈控制。实验结果显示,与以PCI04为核心的控制系统相比,基于DSP—FPGA的控制系统大大提高了大范围快速原子力显微镜的扫描速度和控制精度。
邓卫梅
陈代谢
殷伯华
薛虹
韩立
基于SEM的纳米级电子束曝光机系统设计
本文主要介绍基于扫描电子显微镜(SEM)纳米级实用化电子束曝光机系统的研究内容、主要技术指标及曝光工艺实验的结果.
顾文琪
薛虹
韩立
刘俊标
初明璋
关键词:
电子束曝光机
系统设计
扫描电子显微镜
文献传递
基于DSP新型图形发生器模数转换器的设计
2004年
介绍了一种电子束曝光机图形发生器模数转换器的设计方案,该设计方案以ADI公司的模数转换芯片AD9223为核心,根据电子束曝光机背散射信号的特点,设计了合理的前端放大器和驱动电路及基准源。这样,提供了与DSP的无缝接口并提高了转换速度。该模数转换器可用于电子束和离子束曝光机中的图形发生器采集标记数据和图像数据信息,同时也可用于原子力显微镜采集图像数据信息。
袁修鹏
薛虹
方光荣
关键词:
模数转换器
图形发生器
仪表放大器
基于DSP图形发生器曝光算法的研究
2004年
新型图形发生器使用DSP控制曝光过程,因此要求DSP程序高效地控制电子束实现图形的高精度扫描。而以往的算法(包括Bresenham算法)无法满足电子束扫描的特殊性,因此提出一种DSP实现曝光的算法。分析了Bresenham算法的缺陷,同时对提出的新算法进行工作效率的理论分析和曝光数据的采集对比,结果证明该算法是一种能够保证精度和效率的算法。同时还探讨了斜矩形不分割的曝光算法。
杨浩伟
张今朝
薛虹
关键词:
图形发生器
DSP
BRESENHAM算法
电子束退火制备二硼化镁超导薄膜的方法
一种电子束退火制备二硼化镁超导薄膜的方法,该方法采用电子束在真空中对二硼化镁先驱膜进行退火,在秒数量级的退火时间内使先驱膜中的镁、硼单质发生化学反应最终生成二硼化镁超导薄膜。退火时电子束参数和退火时间依据不同的前驱膜厚度...
孔祥东
韩立
薛虹
初明璋
李建国
林云生
方光荣
文献传递
电子束缩小投影成像曝光系统研究
顾文琪
张福安
方光荣
薛虹
靳鹏云
彭开武
张今朝
唐晖
初明璋
吴桂君
王理明
该项目通过对电子束缩小投影成像曝光系统的关键技术及相关部件的研究,探索纳米级缩小投影成像曝光、散射型掩模制备及角度限制机理和高精度对准定位等核心技术。项目组制定了详细又切合实际的总体方案和合理可行的技术路线。为加快研究进...
关键词:
DY-7型深亚微米电子束曝光系统的研究
主要介绍深亚微米电子束曝光机的实验研究及各种部件性能指标,并重点论述偏转器的优化设计。
王理明
张福安
薛虹
顾文琪
关键词:
电子束曝光机
偏转器
文献传递
网络资源链接
0.1微米电子束曝光实验装置的实用化研究
本文主要论述0.1微米电子束曝光机实用化研究的内容.简介系统的组成及达到的主要性能指标.
薛虹
顾文琪
张福安
课敏
唐晖
张今朝
关键词:
电子束曝光机
性能指标
系统组成
文献传递
0.1微米电子束曝光实验装置的研制
顾文琪
张福安
王理明
薛虹
潭敏
唐晖
陈志琪
安秉谦
张今朝
王启祥
卢维美
王岩红
“0.1微米电子束曝光及实验装置的研制”是中国科学院“九五”应用研究与发展重大项目。该装置也是我国第一台自行研制的0.1微米电子束曝光机。微电子光刻设备是制造大规模集成电路的先导和基础。在众多的微电子设备中,以电子束...
关键词:
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电子束
曝光机
光刻技术
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