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赵强
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)
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相关领域:
理学
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合作作者
周杨
苏州大学物理科学与技术学院能源...
江美福
苏州大学物理科学与技术学院能源...
潘越
苏州大学物理科学与技术学院能源...
杨亦赏
苏州大学物理科学与技术学院能源...
江舸
四川大学物理科学与技术学院
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赵强
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周杨
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物理学报
年份
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2013
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SiC过渡层对氟化类金刚石薄膜附着特性的影响
被引量:3
2013年
采用射频反应磁控溅射法在316L不锈钢基片上分别沉积了两种薄膜:一种是氟化类金刚石薄膜(F-DLC),另一种是先镀上一定厚度的SiC过渡层再沉积F-DLC.着重研究了薄膜的附着力随过渡层制备条件的变化规律.结果显示,增加SiC过渡层后薄膜的附着力明显增加,且附着力随SiC过渡层的制备条件有所变化,在射频输入功率为200W,沉积时间5min制备出的SiC过渡层上再沉积F-DLC时,附着力可达8.7N,远高于未加过渡层时F-DLC膜的附着力(4N).通过研究SiC的沉积速率曲线、表面形貌和红外光谱,探讨了SiC过渡层及其制备条件影响薄膜附着力的相关机制.
潘越
赵强
江舸
周杨
江美福
杨亦赏
关键词:
红外光谱
附着力
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