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邓凌超

作品数：2 被引量：3H指数：1
供职机构：西安理工大学材料科学与工程学院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇金属学及工艺

主题

  • 2篇镀层
  • 2篇C/C
  • 1篇镀层厚度
  • 1篇镀层性能
  • 1篇性能评价
  • 1篇溅射
  • 1篇厚度
  • 1篇复合镀
  • 1篇复合镀层
  • 1篇铬
  • 1篇碳
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 2篇西安理工大学

作者

  • 2篇邓凌超
  • 1篇栾亚
  • 1篇蒋百灵
  • 1篇张国君

传媒

  • 1篇中国表面工程

年份

  • 2篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
靶基距对C/Cr复合镀层厚度影响的研究被引量：2
2006年
以四靶闭合场非平衡磁控溅射方法制备C/Cr镀层,用球痕法测量镀层厚度,研究了镀层厚度及均匀性随靶基距的变化规律,并探讨了靶基距影响镀层厚度的机理。结果表明:靶基距对镀层厚度有明显影响;镀层厚度随靶基径向距增大而显著减小,随靶基轴向距的增加变化不大;试样放置位置越靠近真空室中心区域,镀层厚度均匀性越好;磁场空间分布和粒子迁移中的散射碰撞是导致靶基距影响镀层厚度的主要原因。
邓凌超栾亚张国君蒋百灵
关键词：厚度
靶基相对位置对C/Cr复合镀层性能和组织结构的影响
闭合场非平衡磁控溅射镀膜设备真空腔尺寸较大,工位很有可能显著影响镀层的质量。目前,有关这方面的研究主要集中在工位对镀层厚度影响的分析,还有待于对其进行全面和深入的研究。本文在保证其它工艺参数相同的条件下,采用英国Teer...
邓凌超
关键词：性能评价
文献传递
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