郝一龙
- 作品数：235 被引量：409H指数：11
- 供职机构：北京大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
- 高精度隧道式加速度计及其制备方法
- 本发明提供了一种高精度隧道加速度计结构及其制备方法。该隧道加速度计隧尖为圆锥型，支撑梁厚度小于质量块厚度。其制备方法依次包括以下步骤：在硅片上刻蚀浅槽，定出隧尖与对应电极的初始间距；继续刻蚀制备隧尖，并在隧尖上淀积金属作...
- 董海峰贾玉斌郝一龙
- 文献传递
- BD031 MEMS信号处理电路的研制及测试
- 2004年
- 本文报道了一个为电容式微加速度计传感器信号处理而设计的全集成化的BD031 CMOS MEM信号处理电路.电路设计采用了对信号的差分电容采样方式和过采样技术、前置采样放大器高增益和低噪声设计措施、可调节选通带宽的的低通滤波器及为提高电容噪声性能的带有虚开关结构的开关电容滤波器设计技术、可微调节增益(常规情况下恒定增益为2)的输出缓冲放大器、可调节振荡频率(正常情况下为800KHz)的本地CMOS时钟产生振荡器及为上述模拟电路提供基准电压和基准电流的基准电压源等设计技术、以及可以进行输入失调调节和对差分电容变化量△C的自测试电路.电路使用单一5伏电源,采用1.2微米、双多晶硅、双铝、N-阱CMOS工艺加工,芯片面积为2.82×3.61平方毫米.芯片性能测试表明其差分小电容变化量△C传感范围达到0.06pF-5pF、带宽为300Hz-5KHz.
- 倪学文莫邦燹项斌吕志军朱晖宁宝俊张录郝一龙金玉丰田玉国
- 关键词：低通滤波
- 一种二维热式声矢量传感器芯片及其实现方法
- 本发明公开了一种二维热式声矢量传感器芯片及其实现方法。本发明在衬底的边缘或中心形成方向正交的流道，在流道上设置的单轴热式声矢量传感器的敏感方向与所在的流道平行，能够集成两个或四个单轴热式声矢量传感器，获得两个完全正交的振...
- 杨振川朱哲政杨凌濛高成臣郝一龙
- 文献传递
- 基于机器微视觉的MEMS平面微运动测试技术(英文)被引量：3
- 2005年
- 随着微电子机械系统(MEMS)研究的深入和产业化的需求,检测技术在MEMS中的重要性越来越大。基于机器微视觉原理组建MEMS动态测试系统,在此系统之上,提出模糊图像合成技术对MEMS器件的平面微运动特性如谐振器的运动幅度、谐振频率等重要参数进行了测试,给出了测量结果,并对测试结果进行了分析和讨论。
- 金翠云栗大超靳世久冯亚林郝一龙
- 关键词：MEMS模糊图像微谐振器谐振频率
- 移动波导光开关及其制作方法
- 一种移动波导光开关，包括基片、波导悬臂梁、静电梳状驱动电极、平衡折梁和校准点，两对平行而置的波导悬臂梁的端部一一相对，在每对波导悬臂梁的两侧旁各设有至少一对静电梳状驱动电极，其一端通过驱动梁与相对应的波导悬臂梁端部外侧连...
- 贾玉斌郝一龙
- 文献传递
- 一种片上集成的声矢量梯度传感器芯片及其实现方法
- 本发明公开了一种片上集成的声矢量梯度传感器芯片及其实现方法。本发明包括衬底、第一和第二敏感区域、第一和第二一维热线式声矢量传感器和电极，在第一和第二敏感区域分别设置敏感方向位于同一条直线上的第一和第二一维热线式声矢量传感...
- 杨振川杨凌濛朱哲政高成臣郝一龙
- 文献传递
- 硅微机械音叉式谐振器被引量：9
- 2005年
- 应用体硅微机械加工技术,制作了一种双端固定音叉式谐振器。它在音叉的两个臂上连接了梳齿电容结构,用来驱动音叉臂在硅片平面内侧向、反相振动,同时检测音叉的振动频率。当驱动力的频率等于音叉的固有频率时,音叉产生谐振。此时,检测梳齿电容输出的电流最大。用有限元方法对谐振器进行了模态分析和结构优化。音叉臂长800μm,宽5μm,梳齿电容齿长25μm,结构层厚度为80μm,在30V交流电压激励下,测得其谐振频率为25kHz。当音叉受到轴向力的作用时,音叉的固有频率会发生变化,根据这一原理,设计了谐振式加速度计。用有限元分析软件对加速度计工作情况仿真,估算其灵敏度约为2Hz/g。这种音叉式谐振器结构和工艺简单,性能可靠,成本较低,对于进一步研究微机电系统谐振器件具有重要意义。
- 钟莹张国雄郝一龙贾玉斌
- 关键词：微机电系统音叉谐振器加速度计体硅工艺
- 高精度隧道式加速度计及其制备方法
- 本发明提供了一种高精度隧道加速度计结构及其制备方法。该隧道加速度计隧尖为圆锥型，支撑梁厚度小于质量块厚度。其制备方法依次包括以下步骤：在硅片上刻蚀浅槽，定出隧尖与对应电极的初始间距；继续刻蚀制备隧尖，并在隧尖上淀积金属作...
- 董海峰贾玉斌郝一龙
- 文献传递
- 继电器及其制备方法
- 本发明提供了一种体硅MEMS继电器及其制备方法，属于微电子机械系统(MEMS)加工工艺技术领域。该继电器包括：一采用正向吸合驱动方式的由上、下两个部分组成的继电器本体，上部结构包括带有锚点和梁结构的单晶硅结构板，在单晶硅...
- 阮勇张大成郝一龙王阳元王丛舜李婷罗葵田大宇王玮王颖王兆江
- 文献传递
- 可变刚度梁及其制备方法、致动方法
- 本发明涉及一种可变刚度梁及其制备方法、致动方法，该可变刚度梁包括：框架结构；嵌套于所述框架结构中的填充部分；位于所述填充部分上的绝缘层；及位于所述绝缘层上的加热部件。本发明的可变刚度梁具有单片集成、自适应性等技术特点，应...
- 吴文刚张海霞陈庆华杜博超贾鲲鹏夏雨郝一龙
