陈宇星
- 作品数：4 被引量：0H指数：0
- 供职机构：广东工业大学物理与光电工程学院更多>>
- 发文基金：广州市科技计划项目广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- 大面积激光投影曝光机的机电系统研究
- 随着印制电路板向大面积、高密度的方向发展，大面积成像、高产量、普通抗蚀剂曝光的激光投影曝光机发挥了重要的促进作用。而精密工作台是激光投影曝光机的核心单元之一，其运动精度直接影响印制电路板的分辨率、速度和加速度，直接影响印...
- 陈宇星
- 关键词：印制电路板激光投影激光光刻移动工作台机电系统曝光机
- 文献传递
- 部分相干高斯光通过扩束系统的衍射分析
- 2009年
- 采用高斯谢尔Gaussian-Schell模型(GSM)来描述部分相干的准分子激光束,利用柯林斯(Collins)衍射积分公式和Matlab对部分相干高斯光通过扩束系统的衍射性质进行模拟分析。结果表明,出射激光束随着空间相干参数β的变大,出现亮暗相间环状光束的数目增多,且衍射峰值明显增加。表明空间相干参数对于设计扩束系统及其相关光学系统的重要性。
- 梁国均周金运陈宇星刘逸轩林清华
- 关键词：部分相干
- 基于微流体芯片的准分子激光微加工技术的研究进展
- 2009年
- 微流体芯片作为一种新型的生物芯片被广泛应用在生命科学等领域,而准分子激光在生物芯片加工过程中有着快速、可控和高效的特点,正逐渐应用于微流体芯片的制造,并有着广阔的发展前景。简要介绍了微流体芯片的技术特点,重点介绍了近年来国外基于微流体芯片制作的准分子激光微加工技术的研究进展和应用,分析了影响准分子激光加工微流体芯片技术发展的因素,并对此技术的今后发展趋势进行了展望。
- 刘逸轩周金运陈宇星
- 248 nm Krf激光投影成像系统设计与参数分析
- 2008年
- 对用于需要微米级线宽的平板显示器件、光电子与微电子产品等工业化生产中的激光投影成像(LPI)装置中的激光投影系统和激光照明系统的关键技术参数进行了分析.以248nmKrF深紫外激光作为光源,在装置整体性能设计要求下,理论推导和分析了符合实际场景的关键技术参数,包括分辨率、焦深、激光光源、曝光时间.得到了相关的具有一定参考价值的结论.
- 陈宇星周金运梁国均刘逸轩
- 关键词：焦深分辨率
