- 基于主元分析的随机相移算法及应用研究
- 随机相移干涉术是最近干涉检测领域中的一个研究热点，在光学元件在线检测中有着重要的应用价值，但现有随机相移干涉术的理论模型和分析方法不够完善，检测精度和效率有待提高。因此，本文以基于主元分析的随机相移算法为研究对象，分析基...
- 陈曌
- 关键词：主元分析相移干涉术
- 文献传递
- 基于双五棱镜的准直光束检测装置
- 本实用新型提供一种基于双五棱镜的准直光束检测装置，包括直线导轨、固定五棱镜、扫描五棱镜和光束接收处理子装置；其中，所述直线导轨的长度不小于待测准直光束的最大束宽；固定五棱镜放置在直线导轨的一端，用来反射准直光束边缘附近某...
- 徐建程侯园园陈曌
- 文献传递
- 倾斜相移闭合干涉图的非迭代相位提取方法（英文）被引量：2
- 2016年
- 针对带倾斜相移误差的闭合干涉图,提出一种非迭代的高精度相位提取方法.该方法用傅里叶变换估计闭合条纹的相位,并用图像分割校正相位的符号,然后利用Zernike多项式拟合确定倾斜相移量,最后用最小二乘拟合得到高精度相位.数值模拟结果表明:该方法的相位提取误差随着干涉图中条纹根数的增多而减小;当干涉图中条纹根数为4.5时,倾斜相移的估计误差为0.37%.实验结果表明该方法的残余误差均方根值为0.121 7rad.该方法精度高,且无需迭代计算,可应用于相移干涉测量.
- 徐建程侯园园陈曌
- 关键词：条纹分析傅里叶变换
- 螺旋相移干涉仪装置
- 本实用新型提供一种螺旋相移干涉仪装置。传统的相移干涉仪需要昂贵的精密相移装置。本实用新型的螺旋相移干涉仪装置包括激光器、扩束系统、分光棱镜、螺旋相位板、参考镜、测试镜、成像系统及探测器。螺旋相移干涉仪的结构为泰曼-格林型...
- 徐建程陈曌侯园园
- 文献传递
- 基于电子自准直仪的大口径准直波前检测系统
- 2016年
- 为测量大口径准直波前的准直性,开发了基于电子自准直仪的准直波前检测系统.介绍了大口径准直波前检测原理及检测装置,分析了主要误差源.采用800 mm口径参考面测量系统误差并进行校准,校准后,该系统的精度从0.91″提高到0.36″.用该系统测量610 mm口径相移干涉仪的准直波前,实验结果表明:该干涉仪的准直波前处于发散状态,最大发散角为24.53″.开发的波前准直检测系统能够满足大口径干涉仪准直波前的检测要求.
- 徐建程陈曌侯园园
- 主元分析相位提取算法的符号确定及误差分析被引量：3
- 2016年
- 基于主元分析的随机相移算法在动态干涉测量中有重要的应用。目前现有文献尚不能解决该算法存在的相位符号不确定性以及无法评估提取相位结果的可靠性。为了解决该问题,利用主元分析方法从随机相移干涉条纹中同时取相位分布和相移值,然后分析相位符号、精度与相移值之间的关系,最后利用所求相移值确定相位符号并表征相位的可靠性。数值分析和实验结果验证该方法的有效性。数值模拟结果表明相位符号由相移值曲线斜率的符号决定,相位提取结果的可靠性取决于相移值的随机统计特性。
- 陈曌候园园徐建程
- 关键词：主元分析干涉图
- 基于傅里叶变换的单帧闭合条纹相位解调方法被引量：2
- 2014年
- 提出一种有效的单帧闭合条纹解调方法,该方法采用傅里叶变换、带通滤波器和傅里叶逆变换估得初始相位,然后通过图像分割、相位符号校正和Zernike多项式拟合得到高准确度相位分布.用图像分割和相位符号校正解决了相位符号不确定性,用Zernike多项式拟合抑制了分割线附近的局部相位误差.数值分析了残余相位误差与干涉图参量(如倾斜量、离家量和随机噪音)之间的定性关系,结果表明:该方法所得相位与ZYGO移相干涉仪测试结果吻合较好,残余相位误差小于参考值的1/10,验证了该方法的有效性.
- 徐建程陈曌
- 关键词：傅里叶变换
- 高精度参考球面检测方法及装置
- 本发明提供一种高精度参考球面检测方法及装置。所述装置由干涉仪、参考球面镜和随机球组成，其中随机球的球心与参考球面的球心重合，随机球可以绕球心自由旋转，随机球表面是准球面分布。所述检测方法是让随机球绕球心自由旋转，利用干涉...
- 徐建程陈曌王飞舟
- 文献传递
- 基于主元分析的干涉仪相移器校准方法被引量：2
- 2016年
- 利用主元分析从一组干涉图中提取相位和相移量,得到相移量与驱动电压之间的对应关系,从而实现压电陶瓷相移器的非线性校准.模拟结果表明:主元分析法计算相移量的误差随着干涉图中条纹根数的增多而减小;当干涉图中条纹根数多于0.25时,相移量计算误差小于0.1664rad.实验结果表明:相移量计算误差是周期分布,对相移器校准准确度影响小.该方法无需迭代计算,且对干涉图中条纹根数没有严格要求,因此是一种高效且实用的校准方法.
- 徐建程候园园陈曌
- 关键词：条纹分析主元分析相移技术
- 高精度参考球面检测方法及装置
- 本发明提供一种高精度参考球面检测方法及装置。所述装置由干涉仪、参考球面镜和随机球组成，其中随机球的球心与参考球面的球心重合，随机球可以绕球心自由旋转，随机球表面是准球面分布。所述检测方法是让随机球绕球心自由旋转，利用干涉...
- 徐建程陈曌王飞舟
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