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冯闯
作品数:
2
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国科学院力学研究所
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相关领域:
理学
一般工业技术
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合作作者
赵亚溥
北京科技大学应用科学学院数学力...
刘冬青
北京科技大学应用科学学院
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微梁谐振器中的空气阻尼
被引量:3
2007年
为了研究空气阻尼对谐振器工作性能的影响,基于Euler-Bernoulli假设、梁弯曲振动理论和气体阻尼理论,建立了考虑气体阻尼的梁振动方程,结合边界条件对方程进行了求解,得到了两种不同情况下气体阻尼对微梁谐振器的谐振频率和品质因子的影响.通过两种阻尼对谐振器影响的比较分析,指出在梁形状保持不变(长宽比和高宽比不变)情况下,微梁谐振器存在一个临界压膜厚度,此临界厚度可为器件的设计提供参考.
冯闯
赵亚溥
刘冬青
关键词:
谐振频率
品质因子
有孔微梁谐振器中的压膜阻尼
微梁谐振器是microelectromechanical systems(MEMS)中较为常用一种谐振器.微梁在振动的过程中,梁和基底间的气体由于粘性作用产生的压膜阻尼会显著影响系统的动态响应特性,因此可采用在结构上打孔...
冯闯
赵亚溥
刘冬青
关键词:
谐振频率
品质因子
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