卢志山
- 作品数：7 被引量：14H指数：2
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：吉林省自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程电气工程更多>>
- 磁悬浮微进给机构电磁场研究
- 2004年
- 针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机而设计了磁悬浮微进给机构,并对它进行了电磁场耦合分析及解耦控制,准确综合地研究磁悬浮系统。在不计漏磁的简单磁路、磁力计算基础上,采用有限元分析软件ANSYS对电磁场进行有限元分析,得到考虑漏磁的磁场分布及准确的磁力计算结果,从而确定电流及气隙大小等悬浮控制参数,为控制设计与试验提供了参考。
- 杨秀华王延风卢志山
- 关键词：CAD/CAE磁悬浮直线电机光刻机
- 基于PMAC的磁悬浮微进给机构的控制
- 2004年
- 针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机的快速步进、精密定位需求,研制出一种新型磁悬浮微进给机构,实现了运动部件与运行导轨之间的无接触支撑,消除了摩擦与磨损,克服了摩擦产生的金属粉尘污染问题.通过PID特性分析并利用PMAC运动控制器设计了一套完整的控制系统,详细阐明了整个控制系统的结构与工作原理,通过试验曲线比较说明了该控制系统的准确性,更进一步的说明了磁悬浮微进给机构的合理性.
- 卢志山王延风何惠阳宋文荣张德龙
- 关键词：PID控制PMAC
- 虚拟样机技术在磁悬浮精密定位平台中的机电一体化研究
- 本文综述了微电子制造设备发展趋势及其精密工作台如光刻机工作台的国内外发展现状及磁悬浮技术研究进展，概述了磁悬浮技术及直线电机驱动的工作原理，介绍了虚拟样机技术，详细研究了了虚拟样机的方法，阐明了应用虚拟样机技术研制磁悬浮...
- 卢志山
- 关键词：机电一体化磁悬浮技术
- 文献传递
- 磁悬浮纳米级步进扫描工作台CAD/CAE设计研究被引量：8
- 2004年
- 采用CAD/CAE技术手段设计了一种新型磁悬浮超精密工作台 ,它是针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机而研制的快速步进、精密定位机构。利用磁悬浮技术将工作台悬浮在X、Y导轨上 ,消除了导轨的摩擦和磨损 ;直线电机无接触驱动实现了工件台的精密定位。用UG软件 ,构造了磁悬浮工作台的三维实体模型 ,并进行了机构运动分析仿真 ;用ANSYS软件进行了磁悬浮系统的电磁场分析 ,可得到磁通量密度 ,磁场强度 ,磁力 ,以及能量损耗和漏磁量 ;对磁悬浮工作台进行了有限元力学分析和结论优化 ,并结合实验测试 ,可使工作台在X、Y方向能量满足 0 .0 2 μm的定位精度要求以及达到 0 .1μm调焦精度和 3.0 μrad调平精度的要求。
- 王延风卢志山宋文荣田兴志何惠阳
- 关键词：CAE磁悬浮光刻电磁场分析模态分析
- 磁悬浮精密定位工作台设计与有限元综合分析
- 本文利用磁悬浮技术将工作台悬浮在导轨上,消除了摩擦和磨损,采用直线电机无接触驱动实现了工作台的精密定位.针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机的磁悬浮精密定位工作台进行了CAD结构设计,有限元电磁场分析,在采用有限元软件...
- 王延风卢志山何惠阳宋文荣
- 关键词：磁悬浮光刻机电磁场分析结构力学分析模态测试
- 文献传递网络资源链接
- 基于PMAC的磁悬浮微进给机构的控制
- 本文针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机的快速步进、精密定位需求,研制出一种新型磁悬浮微进给机构,实现了运动部件与运行导轨之间的无接触支撑,消除了摩擦与磨损,克服了摩擦产生的金属粉尘污染问题.通过PID特性分析并利用P...
- 卢志山王延风何惠阳宋文荣张德龙
- 关键词：磁悬浮PID控制PMAC运动控制器微进给机构
- 文献传递网络资源链接
- 磁悬浮精密定位工作台设计与有限元综合分析被引量：1
- 2004年
- 利用磁悬浮技术将工作台悬浮在导轨上,消除了摩擦和磨损,采用直线电机无接触驱动实现了工作台的精密定位.针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机的磁悬浮精密定位工作台进行了CAD结构设计,有限元电磁场分析,在采用有限元软件Ansys进行磁悬浮系统电磁场分析的基础上,将磁力计算结果调入CAE软件MSC PATRAN/NASTRAN中,磁力计算与结构力学综合分析计算,合理地评价了磁悬浮移动平台的性能.进行了磁悬浮工作台的模态测试,模态测试结果与有限元分析结果相符合,证明了文中的建模方法及分析计算结果是正确的.通过有限元分析与模态测试,找出了薄弱环节,对结构进行了改进.
- 王延风卢志山何惠阳宋文荣
- 关键词：CAD/CAE磁悬浮电磁场分析结构力学分析模态测试
