张乾
- 作品数:10 被引量:12H指数:2
- 供职机构:河北工业大学更多>>
- 相关领域:化学工程金属学及工艺一般工业技术电子电信更多>>
- 采用拉曼光谱研究硅烷浓度对硅薄膜结构的影响
- 采用等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,在一定功率和气压下,在玻璃衬底上制备了不同硅烷浓度的Si薄膜材料.使用拉曼光谱对薄膜材料的结构进行了研究.结果表明Si薄膜的结构随H稀释的加大逐渐由非晶向微晶转变.
- 张乾高杨张建新张维连
- 关键词:等离子体增强化学气相沉积硅薄膜拉曼光谱
- 文献传递
- 纳米复合陶瓷涂层研究现状被引量:2
- 2008年
- 介绍了国内外纳米复合陶瓷涂层的性能以及各种喷涂技术制备纳米陶瓷涂层的研究现状。与传统涂层相比,纳米涂层在韧性,强度和耐磨等性能均有了很大的提高。分析了面临的主要问题,并提出了相应的解决办法。
- 高杨张乾阎殿然张建新何继宁
- 关键词:纳米陶瓷喷涂技术
- 等离子喷涂氧化锆涂层封孔处理的研究现状被引量:1
- 2009年
- 本文分析了等离子喷涂氧化锆涂层中存在孔隙的原因,介绍了降低涂层孔隙率的方法,并指出了未来氧化锆涂层封孔技术的发展方向。
- 张志彬阎殿然高国旗高杨安雪川张乾
- 关键词:等离子喷涂氧化锆涂层封孔处理
- 高速公路养护工程波形护栏接桩工艺研发及应用
- 乔建刚张建忠李爱荣于水泉张程程苏丽英杜艳爽任鸿儒马春蕊于丽娜杜亚军郄彦辉戴凌云张乾柳永玲郝玉仙王英于长春张春秋董丽艳周景新马长春张利忠王金发
- 该项目通过查阅大量相关文献,分析国内外研究进展,对高速公路波形梁护栏进行实地调研,并进行拔桩试验对原有立柱的锈蚀情况及力学性能进行调查,分析其循环利用的可行性性;此外,通过构建接桩工艺模型,对其进行计算机仿真计算及力学性...
- 关键词:
- 关键词:高速公路养护工程
- 纳米复合陶瓷涂层研究现状
- 2008年
- 介绍了国内外纳米复合陶瓷涂层的性能以及各种喷涂技术制备纳米陶瓷涂层的研究现状。与传统涂层相比,纳米涂层在韧性,强度和耐磨性能等方面有了很大的提高。分析了面临的主要问题,并提出相应的解决办法。
- 高杨张乾阎殿然张建新何继宁
- 关键词:纳米陶瓷喷涂技术
- 等离子喷涂Al_2O_3-TiO_2-ZrO_2涂层及其耐磨损性能被引量:3
- 2009年
- 采用液相喷雾造粒法将准微米Al2O3,TiO2,纳米ZrO2颗粒团聚成微米粉体,并用等离子喷涂技术制备了含纳米颗粒的Al2O3-TiO2-ZrO2陶瓷涂层。在MM200型环块磨损试验机上进行了常温干摩擦试验,比较了含有纳米颗粒的Al2O3-TiO2-ZrO2涂层和传统Al2O3-TiO2陶瓷涂层的耐磨损性能,并用扫描电镜观察磨损后的磨痕形貌。结果表明,含有纳米颗粒的涂层耐磨损性能明显优于传统的陶瓷涂层。
- 高杨张建新阎殿然张乾
- 关键词:等离子喷涂
- 等离子喷涂氧化锆涂层封孔处理的研究现状被引量:5
- 2009年
- 张志彬阎殿然高国旗高杨安雪川张乾
- 关键词:等离子喷涂技术氧化锆涂层封孔处理喷涂材料热障涂层
- Al_2O_3-TiO_2-ZrO_2含纳米结构等离子喷涂层的显微硬度及韧性被引量:1
- 2009年
- 为了提高传统Al2O3+40%TiO2等离子喷涂层的力学性能,将纳米结构的ZrO2粉末引入热喷涂层,采用液相喷雾造粒的方法将纳米ZrO2-准微米级Al2O3/TiO2颗粒团聚成适用于等离子喷涂的微米级粉体,并用等离子喷涂技术制备出含有纳米结构的陶瓷涂层。利用X射线衍射仪、扫描电镜和显微硬度计等对涂层的微观结构和性能进行了检测。结果表明,最佳喷涂功率40kW下制备的纳米陶瓷涂层的显微硬度和韧性比传统涂层有了明显提高。
- 高杨张建新阎殿然何继宁张乾
- 关键词:等离子喷涂显微硬度韧性
- 喇曼光谱研究硅烷体积分数对Si薄膜结构影响被引量:1
- 2009年
- 采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在一定射频功率、衬底温度和气压下,在普通玻璃衬底上制备了不同硅烷体积分数的Si薄膜材料。使用喇曼光谱对薄膜材料的结构进行了研究。结果表明,随着硅烷体积分数的降低,Si薄膜沉积速率将会逐渐降低。当硅烷体积分数降到2%时,喇曼光谱检测到出现对应的晶体Si的吸收峰,而最初的非晶吸收峰位逐渐减弱,Si薄膜的结构实现了由非晶向微晶转变。随着硅烷体积分数进一步降低,结晶率不断提高,微晶比例进一步扩大。
- 张乾高杨张建新阎殿然安雪川张志彬王师
- 关键词:等离子体增强化学气相沉积硅薄膜喇曼光谱硅烷
- 硅薄膜的PECVD制备及其结构研究
- 本文详细论述了PECVD 法制备非晶硅和微晶硅薄膜的原理和过程,深刻剖析了PECVD 仪器各部分的工作原理并进行了图示。实验选用SiH4和H2 作为气源,在普通玻璃衬底上低温沉积了硅薄膜。制备的工艺参数范围如下,沉积温度...
- 张乾
- 关键词:硅薄膜沉积温度射频功率沉积速率薄膜厚度
- 文献传递