张庆有
- 作品数：6 被引量：0H指数：0
- 供职机构：吉林大学更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 激光CVD
- 1990年
- 光CVD作为薄膜气象合成方法之一和热CVD、等离子CVD同样在薄膜生长技术中占有重要位置,近年来,由于准分子激光技术的发展,准分子激光CVD技术适应半导体工艺低温化和加工精细化的要求也迅速地发展起来。本文主要以准分子激光为重点介绍激光CVD的基本原理、目前发展概况及今后的研究课题与展望。
- 张玉书张庆有丁涛
- 动态单模InGaAsP/InP内反射干涉半导体激光器
- 1992年
- 本文报导了1.3μm InGaAsP/InP内反射干涉型动态单模半导体激光器,器件由质子轰击工艺形成中段耦合干涉腔,最高单模运转调制速率达600 MHz,典型边模抑制比为20∶1。
- 马东阁石家伟张庆有金恩顺任临福石景龙张玉书
- 关键词：半导体激光器
- InP材料UV激光直接刻蚀研究
- 1990年
- 利用UV激光的光解剥离(APD)效应,对半导体材料InP进行了直接刻蚀研究,获得了良好的结果。采用波长为308nm,光脉冲宽度20ns的XeCl)准分子激光器,APD刻蚀的光能量密度阈值为390mJ/cm^2;与理论结果相比较,两者具有良好的一致性。同时给出了刻蚀深度与脉冲速率及脉冲时间的实验曲线。
- 张玉书张庆有任临福丁涛石景龙
- 关键词：半导体激光刻蚀准分子
- UM5101语音数据通讯接口设计
- 1993年
- 本文设计了微机与 UM5101语音芯片的外接存贮器通讯接口和单板机与微机之间的通讯接口,以实现微机和单板机对 UM5101语音处理器录制的语音数据进行重整处理。
- 郭树旭张庆有赵蔚
- 关键词：接口设备语音处理器语音数据
- 准分子激光微细加工技术
- 1989年
- 准分子激光器是一种高功率、高效率的紫外激光器,在未来利用紫外光技术的光产业中具有独特的作用。目前已在激光化学、激光生物医学和激光新材料等科学领域中显示出潜在的活力。然而最活跃的是准分子激光微细加工技术。图1给出了半导体材料主要加工技术的发展概况。从图1可以看出激光微细加工在半导体技术中的重要地位。本文对该领域的激光曝光、激光CVD、激光掺杂和激光刻蚀技术等四个方面作简要的介绍。
- 张玉书张庆有丁涛
- 关键词：准分子激光微细加工
- 准分子激光直接刻蚀聚酰亚胺技术研究
- 1989年
- 一、引言随着大规模集成电路和集成光学的不断发展,对加工技术的要求越来越高,如目前提出图形的精细化,过程低温化,掺杂薄层化及可控性优化等,而准分子激光器则以它能量高、波长短(200～400nm)等优点为解决这些问题提供了有利条件。于是,八十年代开始形成了准分子微细加工新兴技术领域。准分子激光微细加工大体可分为激光曝光技术。
- 任临福张玉书张庆有石景龙
- 关键词：准分子激光刻蚀聚酰亚胺
