徐立松 作品数:21 被引量:58 H指数:3 供职机构: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 更多>> 发文基金: 国家科技重大专项 更多>> 相关领域: 电子电信 自动化与计算机技术 一般工业技术 机械工程 更多>>
一种高精度的压电陶瓷的驱动放大电路 一种高精度的压电陶瓷的驱动放大电路,涉及压电陶瓷控制领域,解决现有由于高压运算放大器的低频性能差,且在发热量比较大的情况下,导致温度变化引入的低频噪声恶化电路的性能等问题,本发明的电路在APEX公司的高压放大电路的基础上... 徐立松 李佩玥 章明朝 隋永新 杨怀江文献传递 高精度DA电路的设计与实现 被引量:12 2014年 高精度的DA电路在电路系统中具有重要的作用,微纳驱动控制领域,压电陶瓷驱动电路中前级数模转换电路的精度对整个系统的性能有显著的影响。详细阐述了高精度数模转换系统设计、实现及测试的全过程。首先,对硬件系统进行详细的设计,这些设计主要是针对低噪声的需求而展开;其次,以DA芯片PCM1702的串行接口为例,详细的阐述了使用GPIO模拟芯片串行接口的设计理念,并通过实际编程予以实现;最后,使用HP2458a万用表对设计的系统进行测试,以检测系统的性能。测试表明,设计的系统输出电压纹波为130μV,输出电压分辨率为100μV,该设计结果满足系统在低噪声系统中的应用。 徐立松 李佩玥 葛川 章明朝关键词:数模转换 压电陶瓷 压电陶瓷执行器半实物仿真系统研究 被引量:1 2013年 为了在压电陶瓷执行器微动控制中获得高精度的同时,实现高响应速度,采用三阶轨迹规划方法设计控制算法。为了对控制算法的性能做出准确评价,采用xPC Target实时内核技术,以高速模拟信号采集卡作为控制/反馈信号的I/O通道,搭建了半实物仿真平台,获得了毫秒量级的伺服周期。实验表明,当伺服周期为1 ms、定位行程为200μm时,三阶轨迹规划算法使压电陶瓷执行器可以在0.5 s内完成精度为±1μm的定位,实现了兼顾高精度与高速度的微动控制。该半实物仿真系统可以有效验证控制算法的性能,为算法的后续移植提供了有益参考。 郭嘉亮 徐立松 闫丰关键词:实时仿真 XPC S-FUNCTION BUILDER 基于反馈的交流激励式电容测量电路设计 被引量:9 2014年 针对交流激励式电容测量电路抗干扰能力差及测量精度受激励源稳定性影响的问题,提出了一种前级加反馈的电容测量电路设计。首先,将传感器输出电压引出,乘以合适的倍数,加到初始激励源。然后,利用模拟乘法器和低通滤波器进行检波。最后,用八位半数字表3458A采集测量结果。实验结果表明,该系统在0~650μm范围内分辨率达30nm,电路测量最大偏差为20nm,示值稳定性0.1mV/30min。该系统满足电容测微系统稳定性好、准确性高的要求。 冯佳 李佩玥 徐立松 尹志生 隋永新关键词:电容传感器 反馈电路 调幅式电容位移传感器开关检波电路设计 被引量:2 2015年 针对调幅式电容位移传感器乘法器检波存在的速度慢、功耗大和热噪声大问题,设计了一种基于模拟开关的全波检波电路。首先,对开关全波检波和开关半波检波原理进行分析,根据分析结果选择了全波检波方法。在此基础上,完成开关全波检波电路设计与测量系统其它部分设计。最后,利用八位半数字表3458A对检波电路与测量系统性能指标进行测试。测试结果表明:检波电路可以实现0.1 m V的分辨率,测量系统在150~650μm范围内分辨率达30 nm,系统示值稳定性0.1 m V/30 min,电容测量系统最大测量偏差为20 nm。该测量系统满足电容测微系统稳定性好、准确性高的要求。 冯佳 李佩玥 徐立松 尹志生 隋永新关键词:电容位移传感器 调幅 检波电路 工件偏心检测系统的设计与实现 被引量:3 2014年 工件偏心检测在光学系统装调中有重要作用,设计并实现了工件的偏心检测系统。首先,依据实验室的条件设计了工件偏心检测系统的整体方案;其次,对测量系统进行数学建模,对建立的检测模型进行数学分析,说明检测的可能性,同时通过实际的数据采集证明了数学分析的准确性,依据测量原理的数学分析,提出使用最小二乘法从检测信号中拟合待测信号,并通过仿真实验证明这种方法的可行性;再次,在MFC架构下使用Signallib及MATLAB静态库生成工具编写偏心检测软件,使用编写的软件采集数据,并对数据进行分析,证明了提出检测方法的可行性及软件系统的可靠性;最后,重新分析整个测量原理的假设,提出了降低假设要求而提高测量效果的方法。实验证明偏心检测系统具备良好的检测效果,同时设计的软件系统具备良好的数据可视化能力,工件偏心检测系统的分析和设计思路可以广泛地应用于系统检测中。 徐立松 尹志生 刘春来 李朋志 李佩玥关键词:最小二乘法 MFC 一种光刻投影物镜微位移控制的电路结构 一种光刻投影物镜微位移控制的电路结构属于光刻投影物镜控制领域,目的在于解决现有技术存在的定位精度低和成本高的问题。本发明包括算法与时序发生电路、高压驱动与数字电容采集电路和电容模数转换电路;算法与时序发生电路和所述高压驱... 李佩玥 崔洋 郑楠 王学亮 徐立松文献传递 一种数字驱动电源 本发明涉及压电陶瓷驱动控制技术领域,具体公开一种数字驱动电源。本发明设计的数字驱动电源,首先使用电流放大电路改善高压放大器的低频特性,其次使用数模转换电路作为模拟信号和数字信号的接口,再利用低功耗的数字控制的电路实现对算... 徐立松 李佩玥 葛川 隋永新 杨怀江文献传递 一种压电陶瓷的驱动放大电路 一种压电陶瓷的驱动放大电路,涉及压电陶瓷驱动控制领域,具体地说是一种压电陶瓷驱动放大器,它可以灵活的组成压电陶瓷电源。本发明的压电陶瓷放大器,在保证驱动效果的同时,有效的降低了成本,同时也保证电路应用的便利性。本发明依据... 徐立松 李佩玥 葛川 尹志生 隋永新 杨怀江文献传递 内置应变片式压电陶瓷的位移检测装置及检测方法 内置应变片式压电陶瓷的位移检测装置及检测方法,涉及位移测量领域,解决现有对压电陶瓷运动过程中的应变片位移检测过程中,存在由于磁滞以及蠕变引起的压电陶瓷驱动器开环精度低的问题,包括安装压电陶瓷,调节激光干涉仪光路,控制高压... 葛川 李朋志 徐立松 李佩玥 隋永新 杨怀江文献传递