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曹月华

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：苏州大学更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇氧化钛薄膜
  • 3篇介电
  • 3篇工作气压
  • 3篇二氧化钛薄膜
  • 2篇电介质
  • 2篇电容
  • 2篇电容器
  • 2篇水式
  • 2篇流水式
  • 2篇介电特性
  • 2篇介质
  • 1篇致密
  • 1篇钛矿
  • 1篇介电常数
  • 1篇金红石
  • 1篇高介电常数

机构

  • 3篇苏州大学

作者

  • 3篇狄国庆
  • 3篇曹月华

年份

  • 1篇2013
  • 2篇2011
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种以复合二氧化钛薄膜为电介质的电容器制备方法
本发明公开了一种以复合二氧化钛薄膜为电介质的电容器制备方法，包括下列步骤：在所需制备薄膜电容器的衬底上，依次镀制下部电极、电介质薄膜、上部电极；其中，电介质薄膜的镀制包括，提供一真空腔体，该真空腔体内设有氧化钇与二氧化钛...
狄国庆曹月华
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一种以复合二氧化钛薄膜为电介质的电容器制备方法
本发明公开了一种以复合二氧化钛薄膜为电介质的电容器制备方法，包括下列步骤：在所需制备薄膜电容器的衬底上，依次镀制下部电极、电介质薄膜、上部电极；其中，电介质薄膜的镀制包括，提供一真空腔体，该真空腔体内设有氧化钇与二氧化钛...
狄国庆曹月华
一种致密复合二氧化钛薄膜的制备方法
本发明公开了一种致密复合二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，包括下列步骤：提供一真空腔体，该真空腔体内设有氧化钇与二氧化钛复合靶材、待镀膜衬底，所述氧化钇与二氧化钛复合靶材为将片状的氧化钇设置在二氧化钛靶材表面而成；通入...
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