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曹阳珍
作品数:
2
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供职机构:
上海交通大学机械与动力工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
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合作作者
孙方宏
上海交通大学机械与动力工程学院
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上海交通大学
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曹阳珍
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孙方宏
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2007
1篇
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高性能CVD金刚石薄膜涂层轴承支撑器的制备和应用
本文对低摩擦系数金刚石薄膜的研究现状和发展趋势进行了综合评述,从低摩擦系数金刚石薄膜的沉积原理和工艺以及金刚石薄膜效应表征等方面分析了国内外最新研究成果,比较了常规和低摩擦系数金刚石薄膜不同沉积工艺和形核生长机理,对低摩...
曹阳珍
关键词:
CVD金刚石薄膜
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CVD金刚石薄膜涂层轴承支撑器的制备和应用
2007年
轴承支撑器是轴承精密加工中的关键部件。本文采用热丝化学气相沉积(简称CVD)法,以丙酮和氢气为碳源,在WC-Co硬质合金轴承支撑器衬底上沉积金刚石薄膜,制备CVD金刚石薄膜涂层轴承支撑器,并应用于轴承的精密磨削加工。结果表明,合理控制衬底材料的预处理和CVD沉积工艺对金刚石薄膜质量、形貌、粗糙度和薄膜与衬底间的附着力有显著影响。与传统硬质合金轴承支撑器相比,CVD金刚石涂层轴承支撑器的耐用度和使用性能显著提高。
曹阳珍
孙方宏
关键词:
金刚石薄膜
化学气相沉积
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