朱胤
- 作品数:5 被引量:13H指数:3
- 供职机构:南京航空航天大学机电学院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金江苏省自然科学基金更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术化学工程金属学及工艺电子电信更多>>
- CVD金刚石衬底温度场的自调整模糊PID控制器研究被引量:5
- 2003年
- 以CVD金刚石衬底温度场为控制对象 ,采用复合型模糊控制器 ,建立一种双模控制系统。详细介绍了控制思路及实现算法 ,并在模糊控制系统中引入自调整模糊PID算法 ,实现模糊语言规则及综合推理的实时调节 ,从而获得较强的适应能力 ,可在系统参数变化或存在扰动的情况下 ,保证控制系统具有较好性能。结果表明该控制系统具有较强的鲁棒性。
- 朱胤左敦稳王珉宋胜利
- 关键词:CVD金刚石自调整模糊控制PID计算机仿真
- 串口通信在CVD金刚石膜生长系统中的应用被引量:3
- 2003年
- 本文主要介绍在CVD金刚石膜生长系统中如何利用MSComm控件实现串口通信 ,并给出了以Delphi开发的实例程序。此外阐述了以分时循环方式实现单通道多信号采集的原理和实现方案。
- 朱胤左敦稳宋胜利黎向锋王珉
- 关键词:人造金刚石CVD金刚石膜串口通信MSCOMM控件
- EACVD金刚石膜设备的控制技术及实验研究
- EACVD金刚石膜设备在长时间工作条件下工艺参数难以稳定,金刚石膜生长速度低等问题已成为目前制约金刚石膜产业化的重要障碍之一.该文在对影响金刚石膜质量及生长速度等工艺参数进行详细分析基础上,对衬底温度、热丝温度、热丝电流...
- 朱胤
- 关键词:EACVDCVD金刚石膜模糊控制
- 文献传递
- 计算机控制CVD金刚石生长系统的研究被引量:6
- 2003年
- 在CVD金刚石生长系统的基础上设计开发了计算机控制系统,对金刚石生长过程中各物理信号进行监测与控制,实现了无人值守下金刚石的生长。详细介绍了计算机控制的结构和软件实现方法。最后介绍了在计算机控制之下金刚石厚膜,纳米金刚石薄膜以及复合膜的生长。结果表明该系统运行稳定、可靠,控制效果明显优于人工控制,具有非常广泛的应用价值。
- 朱胤左敦稳王珉卢文状宋胜利
- 关键词:人造金刚石化学气相沉积晶体生长计算机控制系统CVD
- HFCVD金刚石膜衬底温度的计算机控制
- 2007年
- 针对CVD金刚石膜生长手动控制的种种不便,在生长系统中引入了计算机控制,实现了用计算机控制生长金刚石膜的衬底温度。详细介绍了计算机控制系统的设计和实现方法。实际运行结果表明,该系统稳定性好、可靠性高,实现了金刚石膜稳定生长。
- 褚向前朱武陈长琦左敦稳朱胤
- 关键词:HFCVD金刚石膜衬底温度计算机控制