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王中文
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
辽宁大学信息学院电子信息科学与技术
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相关领域:
电子电信
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王中文
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1997
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等平面和金属剥离工艺在低电容高可靠晶体管生产中的应用
被引量:2
1997年
本文描述了一种等平面工艺和金属剥离技术在低电容、高可靠晶体管生产中的实际应用.通过采用这两种工艺,不仅使得晶体管输出电容减小14%,也使可靠性明显提高.
邢素贤
程足捷
王中文
关键词:
晶体管
电容
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