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王晶晶

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：天津市肿瘤研究所更多>>
相关领域：医药卫生自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇医药卫生

主题

  • 6篇传感
  • 5篇高灵敏
  • 4篇生化传感器
  • 4篇微悬臂
  • 4篇感器
  • 4篇传感器
  • 3篇谐振
  • 2篇电阻式传感器
  • 2篇信号传输线
  • 2篇修饰
  • 2篇微柱
  • 2篇谐振式
  • 2篇刻蚀
  • 2篇刻蚀工艺
  • 2篇机械信号
  • 2篇功能化
  • 2篇干法刻蚀
  • 2篇干法刻蚀工艺
  • 2篇肝癌
  • 2篇肝癌标志物

机构

  • 7篇中国科学院
  • 2篇天津市肿瘤研...

作者

  • 7篇杨晋玲
  • 7篇王晶晶
  • 5篇杨富华
  • 4篇王帅鹏
  • 3篇朱银芳
  • 1篇张金英

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2014
  • 1篇2013
  • 1篇2012
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法
本发明公开了一种基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法，生化传感器以悬臂梁为结构单元，采用微纳加工工艺在硅基片上制作，即在硅片上通过光刻、干法刻蚀工艺制作悬臂梁及其附属结构，通过离子注入、电子束蒸发工艺制作出...
杨晋玲王帅鹏王晶晶朱银芳杨富华
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基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器
本发明公开了一种基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器，该生化传感器包括谐振腔、悬臂梁和惠斯特桥式检测电路，其中在该悬臂梁的自由端刻蚀有微柱结构(3)和储液槽(4)，并刻蚀有用于流出生化溶液的漏液孔(5)；该悬臂梁的支...
杨晋玲王帅鹏王晶晶杨富华
用于肝癌早诊的便携式传感系统及其功能化修饰方法
本发明公开了一种用于肝癌早诊的便携式传感系统及其功能化修饰方法，该系统包括：微悬臂梁阵列传感单元，其将悬臂梁的机械信号转化为电信号，并输出至数字化显示接口处理电路；表面修饰层，生长在微悬臂梁阵列传感单元表面，用于功能化微...
杨晋玲王晶晶王帅鹏朱银芳杨富华张宁
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基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法
本发明公开了一种基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法，生化传感器以悬臂梁为结构单元，采用微纳加工工艺在硅基片上制作，即在硅片上通过光刻、干法刻蚀工艺制作悬臂梁及其附属结构，通过离子注入、电子束蒸发工艺制作出...
杨晋玲王帅鹏王晶晶朱银芳杨富华
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基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器
本发明公开了一种基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器，该生化传感器包括谐振腔、悬臂梁和惠斯特桥式检测电路，其中在该悬臂梁的自由端刻蚀有微柱结构(3)和储液槽(4)，并刻蚀有用于流出生化溶液的漏液孔(5)；该悬臂梁的支...
杨晋玲王帅鹏王晶晶杨富华
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用于肝癌早诊的便携式传感系统及其功能化修饰方法
本发明公开了一种用于肝癌早诊的便携式传感系统及其功能化修饰方法，该系统包括：微悬臂梁阵列传感单元，其将悬臂梁的机械信号转化为电信号，并输出至数字化显示接口处理电路；表面修饰层，生长在微悬臂梁阵列传感单元表面，用于功能化微...
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用于高灵敏生化检测的微型双端固支梁传感器的制作方法
一种用于高灵敏生化检测的微型双端固支梁传感器的制作方法，包括：对SOI片进行清洗；淀积二氧化硅层；形成两个压阻以及电学连接线；光刻和刻蚀，形成窗口；刻蚀出局域修饰区，在双端固支梁的表面生长金属薄膜；生长掩膜层；在窗口内掩...
王晶晶杨晋玲朱银芳张金英杨富华
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