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田陆仙

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：湖南大学激光研究所更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇湖南大学

作者

  • 1篇刘劲松
  • 1篇田陆仙

传媒

  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 1篇1997
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
用于激光烧蚀加工深度测量的自聚焦传感器的设计
1997年
为提高激光烧蚀加工的尺寸精度，将自聚焦测量法应用于激光烧蚀加工的深度测量。研究了自聚焦传感器的测量原理并导出了被测物面深度与光电探测器成象之间的关系，据此分析了各参数对测量分辨率的影响。结论对这种传感器的设计具有重要指导意义。
刘劲松田陆仙李孟秋
关键词：传感器
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共1页<1>
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