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激光圆偏振干涉纳米位移测量信号处理方法被引量：1: 2013年; 介绍激光圆偏振干涉纳米位移测量系统的光路结构，针对A／D误差和直流噪声引入的位移误差，提出了基于正余弦信号切换的干涉条纹处理方法，以提高测量精度。设计基于FPGA和DSP架构的激光圆偏振干涉纳米位移测量系统，其中FPGA主要用于信号的采集、大数计数及与上位机通讯，DSP主要用于小数计算。位移实验结果表明：在0～7μm范围内，步长为100nm的测量结果其线性拟合相关系数为0．9836，标准差为1．88nm；在0～15μm范围内步长为1μm的测量结果其线性拟相关系数为0．9992，标准差为2．96nm。验证了所提出的干涉条纹处理方法和信号处理系统能够实现纳米级位移测量精度的要求。; 章淼凌严利平楼盈天刘燕娜陈本永; 关键词：信号处理

激光圆偏振干涉纳米位移测量信号处理方法: 纳米测量学是纳米科学中的一个重要分支，是在纳米尺度发现新现象、创造新技术的基础。随着微电子技术、超精密加工技术等高新技术的迅速发展，对相应的纳米测量仪器提出了更大范围和更高精度的测量要求。　　本文描述了激光圆偏振光干...; 章淼凌; 关键词：信号处理

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章淼凌