纪平
- 作品数：13 被引量：24H指数：3
- 供职机构：吉林大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金吉林省科技发展计划基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学更多>>
- 微机协光开关微反射镜的制作和驱动结构的有限元分析
- 纪平
- 关键词：光开关反射镜有限元
- （100）硅片的各向异性腐蚀及微反射镜的制作
- 2002年
- 在（100）硅片上进行各向异性腐蚀时，能暴露垂直的{100}面、倾角为45°的{110}面和倾角54°的{111}面，{111}面是沿着<100>方向形成的，{100}和{110}面是沿着<100>方向形成的。用纯KOH水溶液和KOH+IPA（异丙醇）混合水溶液在（100）硅片上沿<100>方向腐蚀所暴露的平面是不同的，使用纯KOH水溶液总是能暴露与衬底垂直的{100}面，在使用KOH+IPA混合溶液时，当KOH的浓度较低的，暴露与裤底倾角是45℃的{110}面，当KOH溶度高于50％时，暴露出光滑且与衬底垂直的{100}面。根据这一结论，使用KOH浓度高于50％的KOH+IPA混合水溶液，在（100）硅片上沿着<100>方向制作出微反射镜，微镜的表面粗糙度低于100nm。
- 纪平潘建旋徐宝琨董玮陈维友刘彩霞张歆东贾翠萍张龙
- 关键词：各向异性腐蚀微反射镜表面粗糙度倾角
- 微机械光开关微反射镜的制作和驱动结构的有限元分析
- 将微机电系统(MEMS)与光器件融合于一体的微光机电系统(MOEMS)是MEMS的一个重要的研究方向，它采用微细加工的技术手段，把微光学器件、微电子器件和微机械结构或装置集成在相兼容的基体材料上，充分发挥三者的综合性能，...
- 纪平
- 关键词：微机械光开关微反射镜有限元光通信MEMS光开关
- 文献传递
- MOEMS光开关响应时间的分析计算被引量：4
- 2003年
- 本文结合静电驱动扭臂式MOEMS光开关 ,给出了响应时间的计算方法 ,得出开关时间的计算公式 .分析了器件几何参数对开关时间的影响 ,给出了开关时间随参数的变化趋势 .通过优化结构给出一组几何参数 ,保证了驱动电压在 10V左右 ,开关时间可以达到 1至 2ms.
- 孙东明董玮刘彩霞郭文滨张歆东纪平徐宝琨陈维友
- 关键词：MOEMS倾斜下电极静电驱动开关时间
- 并四苯晶体的物理气相沉积被引量：1
- 2001年
- 设计了水平沉积系统 ,物理气相生长了并四苯晶体。仅用 10～ 30mg的源 ,得到了面积达 2 0mm2 的片状晶体。报道了可重复性的晶体生长条件。测试表明 ,晶体表面光滑 。
- 刘建军李永军刘明大石家纬葛翔纪平郭树旭金恩顺
- 关键词：有机晶体物理气相沉积
- M OEMS光开关静电驱动的优化设计被引量：14
- 2002年
- 给出基于硅的微机械光开关的设计分析。优化设计了光开关结构 ,提出了一种降低扭臂式结构光开关驱动电压的方法。并根据不同结构 ,给出了静电驱动等方面的分析结果。
- 孙东明董玮郭文滨刘彩霞常惠明张龙纪平徐宝琨陈维友
- 关键词：MOEMS优化设计光开关静电驱动
- 具有倾斜下电极的扭臂驱动结构的设计与制作被引量：1
- 2003年
- 分析了扭臂驱动结构的上电极端部位移与外加电压之间的关系 ,提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构 ,并通过倾斜一定角度的 (111)硅片的各向异性腐蚀制作了倾斜下电极 .理论分析和实验结果表明 ,倾斜下电极的 pull-in电压几乎比平面下电极的 pull- in电压降低一半 .
- 董玮阮圣平张歆东刘彩霞贾翠萍潘建旋张龙孙东明纪平陈维友
- 关键词：微机械光开关倾斜下电极
- 微反射镜和光纤自对准V型槽的制作被引量：5
- 2002年
- 用纯KOH水溶液和KOH +IPA混合水溶液在 ( 1 0 0 )硅片上沿 <1 0 0 >方向上腐蚀所暴露的平面是不同的。纯KOH水溶液中总是能暴露与衬底垂直的 {1 0 0 }面 ,在KOH +IPA溶液中 ,随着KOH的浓度不同将暴露 {1 1 0 }和 {1 0 0 }面。使用KOH浓度为 50 %的KOH +IPA溶液 ,在 ( 1 0 0 )硅片上一次掩模制作微反射镜和光纤自对准V型槽 ,微镜的表面粗糙度低于 1 0nm。
- 董玮阮圣平张歆东刘彩霞张龙纪平潘建旋贾翠萍陈维友
- 关键词：微反射镜光纤氢氧化钾光开关
- (100)硅片的各向异性腐蚀及微反射镜的制作
- 在(100)硅片上进行各向异性腐蚀时,能暴露垂直的{100}面、倾角为45°的{100}面和倾角54°的{111}面,{111}面是沿着<110>方向形成的,{100}和{110}面是沿着<100>方向形成的.用纯KOH...
- 董玮陈维友刘彩霞张歆东贾翠萍张龙纪平潘建旋徐宝琨
- 关键词：微反射镜表面粗糙度化学腐蚀
- 文献传递
- 有机半导体场效应发光晶体管
- 有机晶体电注入激光器,已经由美国Beef实验室Lucent科研小组研制成功。人们期待已久的有机电注入激光器终于实现了。但是由于器件结构存在一些问题,所以他们只得到脉冲受激发射。没有实现连续受激发射。有机双极场效应发光晶体...
- 刘明大石家伟李永军刘建军葛翔纪平郭树旭金恩顺
- 文献传递
