范晓东
- 作品数：8 被引量：8H指数：1
- 供职机构：清华大学光盘国家工程研究中心更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术医药卫生更多>>
- 母盘刻录技术新进展被引量：1
- 2005年
- 介绍了母盘刻录中的关键技术和当前母盘刻录技术的各个研究领域及其最新进展。指出了这些技术在下一代母盘刻录中的应用前景。
- 蒋培军范晓东钱坤徐端颐齐国生
- 关键词：母盘刻录电子束近场超分辨技术
- 用于阵列式集成电路光刻扫描装置的线阵光源
- 阵列式集成电路光刻扫描装置用的线阵光源属于扫描光学头技术领域，其特征在于，它含有：在同一线阵长度内依次排列着的下列元件：n个出射光强均匀的半导体激光器，n个分别会聚该激光器出射光的会聚透镜，n束分别接收上述透镜出射光的每...
- 徐端颐齐国生蒋培军范晓东钱坤
- 文献传递
- 多波长多阶只读光盘的母盘刻录和制造方法
- 多波长多阶只读光盘的母盘刻录和制造方法，属于高密度数字光存储技术和微细加工技术领域，其特征在于：它是一种利用记录材料对应的选择吸收特性，用多波长刻录激光进行多路并行刻录，并在每一层上多阶存储的方法，它依次包含以下步骤：在...
- 徐端颐蒋培军齐国生李赫雄钱坤范晓东李庆祥李晟
- 文献传递
- 企业内部控制系统的发展
- 范晓东
- 关键词：内部控制全面风险管理
- 用于阵列式集成电路光刻扫描装置的线阵光源
- 阵列式集成电路光刻扫描装置用的线阵光源属于扫描光学头技术领域,其特征在于,它含有:在同一线阵长度内依次排列着的下列元件:n个出射光强均匀的半导体激光器,n个分别会聚该激光器出射光的会聚透镜,n束分别接收上述透镜出射光的每...
- 徐端颐齐国生蒋培军范晓东钱坤
- 文献传递
- 多波长多阶只读光盘的母盘刻录和制造方法
- 多波长多阶只读光盘的母盘刻录和制造方法，属于高密度数字光存储技术和微细加工技术领域，其特征在于：它是一种利用记录材料对应的选择吸收特性，用多波长刻录激光进行多路并行刻录，并在每一层上多阶存储的方法，它依次包含以下步骤：在...
- 徐端颐蒋培军齐国生李赫雄钱坤范晓东李庆祥李晟
- 文献传递
- 动态心电图记录系统研制和心电信号特征提取及分析算法研究
- 范晓东
- 关键词：心电图心血管系统动态心电图
- 微进给工作台伺服控制技术被引量：7
- 2004年
- 为实现母盘刻录机中光学头的精密进给,研制了精密微进给工作台及其伺服控制系统。利用线光栅作为工作台位移检测工具,采用数字比例积分微分(PID)伺服滤波器实现位移控制。经实验方法测定,系统摩擦可以近似为Coulomb摩擦加Stribeck效应的模型。采用了基于该模型的摩擦补偿方法以消除电机死区影响。为实现精确轨迹控制,控制系统采用了零相位误差跟踪控制(ZPETC)技术。针对高增益PID、摩擦补偿和ZPETC加摩擦补偿这3种控制方法,分别进行了轨迹跟踪实验,其轨迹误差分别为±0.8、±0.6和±0.3μm。
- 蒋培军齐国生徐端颐李庆祥范晓东钱坤
- 关键词：机电一体化精密工作台前馈控制伺服控制
