薛明鑫
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院声学研究所更多>>
- 发文基金：辽宁省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 微型硅基弯曲板波器件
- 2012年
- 介绍了基于ZnO压电薄膜的微型弯曲板波(FPW)器件的设计与制作。为减小薄膜的应力,器件采用LTO/ZnO/LTO/Si3N4多层复合板结构,并采用直流磁控溅射工艺制备ZnO压电薄膜,在压电复合板结构上沉积两对叉指电极,分别用于Lamb波的激发和接收。X射线衍射分析表明,沉积的ZnO薄膜C轴高度择优;扫描电子显微镜分析表明,制备的ZnO薄膜平整、致密,晶粒生长呈现明显的柱状结构;通过分析制备的高次谐波体声波谐振器(HBAR)器件性能来间接检验ZnO压电薄膜的电学性能,HBAR器件的品质因子较高,表明薄膜有较好的压电性能。利用安捷伦E5071C网络分析仪检测FPW器件的频率响应,结果表明反对称A0模式Lamb波的实测中心频率与理论计算的频率结果基本一致。
- 李新刘梦伟薛明鑫
- 关键词：ZNO压电薄膜叉指电极
- 硅基弯曲板波传感器制备工艺研究
- 随着人们对环保的日益重视，越来越多的人们开始关注空气质量。在各种检测空气质量的手段中，弯曲板波（FPW）传感器，引起了人们的广泛关注。弯曲板波传感器的灵敏度随薄板厚度的减小而增加，采用MEMS加工工艺制备弯曲板波传感器，...
- 薛明鑫
- 关键词：压电薄膜叉指电极
- 文献传递
