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薛菲
作品数:
3
被引量:2
H指数:1
供职机构:
复旦大学物理学系应用表面物理国家重点实验室
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
樊永良
复旦大学物理学系应用表面物理国...
方泽波
复旦大学物理学系应用表面物理国...
陈圣
复旦大学物理学系应用表面物理国...
朱燕艳
复旦大学物理学系应用表面物理国...
蒋最敏
复旦大学物理学系应用表面物理国...
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第十四届全国...
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3篇
2005
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Er_2O_3薄膜的电学性质研究
被引量:1
2005年
Er2O3是一种很有希望的高κ材料。在氧气氛下热蒸发金属铒源,制备了Er2O3的薄膜,随后在氧气氛下对它进行了退火。通过对其C-V及I-V特性的测试,认为该材料的电学特性优秀,应该进行进一步的研究。
陈圣
徐润
朱燕艳
方泽波
薛菲
樊永良
蒋最敏
Er2O3单晶薄膜的生长以及Er2O3/Si异质结的能带偏移
本文使用分子束外延的方法在p型Si(001)和Si(111)衬底上,在700℃、7×10-6Torr的条件下首次实现了Er2O3单晶薄膜的生长.薄膜的结晶情况依赖于薄膜的生长温度和氧气压.在较低的温度和较低的氧气压下在薄...
朱燕艳
徐闰
陈圣
方泽波
薛菲
樊永良
蒋最敏
关键词:
分子束外延
文献传递
电子束外延生长Er_2O_3单晶薄膜
被引量:1
2005年
使用电子束外延的方法在p型Si(001)和Si(111)衬底上,在700℃、7×10-6Torr的条件下首次实现了Er2O3单晶薄膜的生长。薄膜的结晶情况依赖于薄膜的生长温度和氧气压。在较低的温度和较低的氧气压下在薄膜内容易生成硅化铒,薄膜也趋于多晶化。而且,生长在SiO2/Si衬底上的Er2O3单晶薄膜的结晶情况和表面粗糙度比生长在清洁的Si衬底上的薄膜要好很多。
朱燕艳
徐润
陈圣
方泽波
薛菲
樊永良
蒋最敏
关键词:
分子束外延
介质膜
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