郑建云
- 作品数：12 被引量：14H指数：2
- 供职机构：中国科学院兰州化学物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术机械工程金属学及工艺更多>>
- 一种改善TiN/TiCN多层复合薄膜材料性能的方法
- 本发明公开了一种改善TiN/TiCN多层复合薄膜材料性能的方法。该方法是利用氮等离子体轰击TiN/TiCN多层复合薄膜，经过处理的TiN/TiCN多层复合薄膜机械性能无明显变化，但整体薄膜的应力得到改善，且内部的TiN层...
- 郝俊英郑建云
- 文献传递
- 一种纳米多孔晶态无机薄膜材料的制备方法
- 本发明公开了一种纳米多孔晶态无机薄膜材料的制备方法，该方法是采用磁控溅射沉积和等离子体刻蚀相结合的方式，在低温、无模板剂和无表面活性剂下制备纳米多孔晶态无机薄膜。此类多孔薄膜为氮化物（如氮化钛(TiN)、氮化铬(CrN)...
- 郑建云郝俊英刘维民
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- 一种弹性润滑纳米碳环/无定型碳复合薄膜的制备方法
- 本发明公开了一种弹性润滑纳米碳环/无定型碳复合薄膜的制备方法，具体步骤为：对单晶硅片和不锈钢薄片进行等离子体溅射清洗；过渡层沉积，采用多功能复合磁控溅射溅射设备，沉积室内初始温度为25~35 ℃，靶材与基底间距设置为7~...
- 郝俊英韩熙郑建云
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- 一种弹性硬质润滑纳米复合薄膜材料的制备方法
- 本发明公开了一种弹性硬质润滑纳米复合薄膜材料的制备方法。该方法是采用磁控溅射沉积和等离子体处理技术相结合的方式，在低温下制备弹性硬质润滑纳米复合薄膜材料，此类薄膜以氮化物（如氮化钛(TiN)、氮化铬(CrN)、氮化锆(Z...
- 郑建云郝俊英刘维民
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- 一种弹性硬质润滑纳米复合薄膜材料的制备方法
- 本发明公开了一种弹性硬质润滑纳米复合薄膜材料的制备方法。该方法是采用磁控溅射沉积和等离子体处理技术相结合的方式，在低温下制备弹性硬质润滑纳米复合薄膜材料，此类薄膜以氮化物（如氮化钛(TiN)、氮化铬(CrN)、氮化锆(Z...
- 郑建云郝俊英刘维民
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- Al-DLC薄膜结构及其在水介质下摩擦学性能研究被引量：7
- 2017年
- 采用磁控溅射技术,以Al为溅射靶材,甲烷为溅射气体,在不同射频功率下制备了一系列Al含量不同的类金刚石碳基薄膜(AL-DLC).分析了Al含量对薄膜成分、结构及机械性能的影响,并探讨了其在空气和水介质下的摩擦磨损行为.结果表明:Al掺杂使得薄膜中sp^3-C的生长受到抑制,sp^2-C增加,表面吸附水分子能力变强,在水介质摩擦过程中的剪切阻力变小,从而使得摩擦磨损减小.通过调整射频功率可以对薄膜中Al含量进行调控,在最优Al含量时,Al-DLC在空气和水介质中均具有优异的摩擦学性能.
- 韩熙郑建云张帅拓刘金玉郝俊英
- 关键词：类金刚石薄膜AL掺杂水介质
- 超厚TiN-TiCN多层复合薄膜材料的制备方法
- 本发明公开了一种超厚TiN-TiCN多层复合薄膜材料的制备方法。本发明采用直流磁控溅射物理气相沉积技术制备的TiN-TiCN多层复合薄膜材料，该薄膜薄膜厚度为9.5-24.0μm，质地均匀致密，表面光滑，弹性良好，附着性...
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- 超厚TiN-TiCN多层复合薄膜材料的制备方法
- 本发明公开了一种超厚TiN-TiCN多层复合薄膜材料的制备方法。本发明采用直流磁控溅射物理气相沉积技术制备的TiN-TiCN多层复合薄膜材料，该薄膜薄膜厚度为9.5-24.0μm，质地均匀致密，表面光滑，弹性良好，附着性...
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- 一种改善TiN/TiCN多层复合薄膜材料性能的方法
- 本发明公开了一种改善TiN/TiCN多层复合薄膜材料性能的方法。该方法是利用氮等离子体轰击TiN/TiCN多层复合薄膜，经过处理的TiN/TiCN多层复合薄膜机械性能无明显变化，但整体薄膜的应力得到改善，且内部的TiN层...
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- 一种纳米多孔晶态无机薄膜材料的制备方法
- 本发明公开了一种纳米多孔晶态无机薄膜材料的制备方法，该方法是采用磁控溅射沉积和等离子体刻蚀相结合的方式，在低温、无模板剂和无表面活性剂下制备纳米多孔晶态无机薄膜。此类多孔薄膜为氮化物（如氮化钛(TiN)、氮化铬(CrN)...
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