郭春磊
- 作品数：2 被引量：9H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海应用物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程核科学技术更多>>
- 上海光源软X射线干涉光刻线站波荡器光源及束线相干性研究被引量：1
- 2013年
- 同步辐射波荡器光源相干性能逐步提高,使得同步辐射相干光学实验对理论模拟的要求越来越高。对同步辐射光束线空间相干性进行有效的评估,可以指导相干光束线的设计及其相干光学实验的开展。本文利用部分相干光传播计算模型,数值模拟了上海光源软X射线干涉光刻光束线部分相干光的传播,理论和实验结果进行了比较,得到不同参数下的空间相干性,分析了误差产生原因。相干性的定量分析结果可以为实现空间相干性的定量控制提供依据。
- 郭春磊孟祥雨吴衍青王勇邰仁忠
- 关键词：X射线光学空间相干性波荡器相干长度
- 同步辐射光束线中部分相干光的传播研究被引量：8
- 2013年
- 基于统计光学理论,建立了适用于同步辐射软X射线的部分相干光的传播模型。利用互强度描述部分相干光,并采取分割波前叠加的方法,引入合理的近似,可以定量分析部分相干光传播一定距离后相干性能的变化。利用该模型分析了传播距离、光源相干长度、光源尺寸等因素对相干性能的影响。另外在上海光源软X射线干涉光刻分支线站BL08U1B进行了相干衍射实验,并利用该模型对实验结果进行了模拟。模拟结果表明,该模型能够准确地模拟BL08U1B的相干衍射图样,计算结果和实验数据符合较好,为设计同步辐射高相干性光束线站提供了理论依据和参考。
- 孟祥雨郭春磊王勇吴衍青邰仁忠
- 关键词：X射线光学部分相干光相干长度
