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陈惠娟

作品数：5 被引量：2H指数：1
供职机构：中国石油大学（华东）更多>>
相关领域：一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 1篇电气工程

主题

  • 5篇异质结
  • 4篇钯
  • 3篇气敏
  • 2篇单晶
  • 2篇单晶硅
  • 2篇单晶硅片
  • 2篇电容
  • 2篇电容型
  • 2篇异质结材料
  • 2篇碳膜
  • 2篇气敏传感器
  • 2篇氢气
  • 2篇光伏效应
  • 2篇光生
  • 2篇硅片
  • 2篇感器
  • 2篇掺杂
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇电输运

机构

  • 5篇中国石油大学...

作者

  • 5篇陈惠娟
  • 4篇马明
  • 4篇薛庆忠
  • 2篇夏丹
  • 2篇王盛
  • 2篇吕成
  • 2篇李建鹏
  • 2篇周小岩

年份

  • 1篇2012
  • 2篇2011
  • 2篇2010
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
纳米碳/硅异质结的制备及其气敏性研究
论文第一部分利用磁控溅射的方法在Si(100)基片上成功沉积了一系列不同结构的非晶碳膜(a-C)，对其电输运特性和气体敏感特性进行了较为详细的研究。　　 首先，研究了在室温下NH3对碳纳米薄膜/硅(C/Si)异质结的电...
陈惠娟
关键词：电输运性质气敏性
文献传递
一种具有氢气敏感效应的钯/碳/硅异质结材料
本发明提供了一种具有氢气敏感效应的钯膜/碳膜/硅异质结材料，该材料是通过磁控溅射的方法，将纯度为99.9％的石墨靶溅射到抛光的硅基片上，形成一层厚度为20～200纳米的碳薄膜。再在纯碳薄膜上溅射一层厚度为10～30纳米的...
薛庆忠李建鹏陈惠娟马明周小岩王盛
文献传递
一种具有光伏效应的钯掺杂碳薄膜材料
本发明提供了一种具有光伏效应的钯掺杂碳薄膜材料，是在厚度为0.5～1.0毫米的单晶硅片上溅射一层厚度为20～200纳米的薄膜，该薄膜为掺杂原子数含量为0～5％钯的碳薄膜，制成钯掺杂碳薄膜/二氧化硅/硅材料或者钯掺杂碳薄膜...
薛庆忠马明陈惠娟吕成夏丹
文献传递
一种具有光伏效应的钯掺杂碳薄膜材料
本发明提供了一种具有光伏效应的钯掺杂碳薄膜材料，是在厚度为0.5～1.0毫米的单晶硅片上溅射一层厚度为20～200纳米的薄膜，该薄膜为掺杂原子数含量为0～5％钯的碳薄膜，制成钯掺杂碳薄膜/二氧化硅/硅材料或者钯掺杂碳薄膜...
薛庆忠马明陈惠娟吕成夏丹
一种具有氢气敏感效应的钯/碳/硅异质结材料
本发明提供了一种具有氢气敏感效应的钯膜/碳膜/硅异质结材料，该材料是通过磁控溅射的方法，将纯度为99.9％的石墨靶溅射到抛光的硅基片上，形成一层厚度为20～200纳米的碳薄膜。再在纯碳薄膜上溅射一层厚度为10～30纳米的...
薛庆忠李建鹏陈惠娟马明周小岩王盛
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