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项志杰

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：西北工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇应力
  • 3篇剪应力
  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇弹性梁
  • 2篇通孔
  • 2篇通孔技术
  • 2篇微加工
  • 2篇封装
  • 2篇封装尺寸
  • 1篇微传感器

机构

  • 3篇西北工业大学

作者

  • 3篇马炳和
  • 3篇邓进军
  • 3篇项志杰
  • 1篇韩蕾
  • 1篇秦文君

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2013
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
浮动式剪应力微传感器的标定被引量：2
2014年
流体壁面剪应力微传感器的精确标定是进行流动测量的基础。分别采用自重加载、离心加载和风洞吹风三种不同方法,对基于电容检测原理的浮动单元剪应力微传感器进行标定与实验研究。对比了三种实验方法和标定的结果,分析了标定过程中的设备、传感器的加工及安装等误差的影响。研究结果表明,标定的传感器灵敏度为30 mV/Pa,三种标定方法的误差在2%以内,采用离心加载标定的误差最小;为进一步减小标定误差提供了改进方法。利用标定后的传感器,在风洞中对标准翼型的定点壁面剪应力值进行了测量,与仿真结果进行对比,二者能够较好吻合。
项志杰马炳和邓进军韩蕾秦文君
关键词：剪应力微传感器
基于硅通孔技术的微型电容式壁面剪应力传感器及其制作方法
本发明公开了一种基于硅通孔技术的微型电容式壁面剪应力传感器及其制作方法，属于传感器技术领域。该传感器包括浮动单元锚点1、弹性梁2、可动梳齿3、固定梳齿4、固定梳齿锚点5、TSV引线6、浮动单元7、牺牲层8、基底层9和TS...
马炳和项志杰邓进军
文献传递
基于硅通孔技术的微型电容式壁面剪应力传感器制作方法
本发明公开了一种基于硅通孔技术的微型电容式壁面剪应力传感器及其制作方法，属于传感器技术领域。该传感器包括浮动单元锚点1、弹性梁2、可动梳齿3、固定梳齿4、固定梳齿锚点5、TSV引线6、浮动单元7、牺牲层8、基底层9和TS...
马炳和项志杰邓进军
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