魏星
- 作品数：21 被引量：7H指数：1
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 相关领域：理学动力工程及工程热物理电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 基于一维纳米材料的微气体传感器的制造方法
- 一种微细加工技术领域的基于一维纳米材料的微气体传感器的制造方法，包括如下步骤：(1)衬底的清洗，(2)底电极层的制备，(3)金属支柱层的制备，(4)金属顶电极层的制备，(5)去除微铸模。本发明提出使用标准微电子加工技术中...
- 侯中宇张亚非蔡炳初徐东魏星
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- 基于一维纳米材料的微气体传感器的制造方法
- 一种微细加工技术领域的基于一维纳米材料的微气体传感器的制造方法，包括如下步骤：(1)衬底的清洗，(2)底电极层的制备，(3)金属支柱层的制备，(4)金属顶电极层的制备，(5)去除微铸模。本发明提出使用标准微电子加工技术中...
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- 微型人类呼吸传感器
- 一种传感器技术领域的微型人类呼吸传感器。本发明包括：衬底、微电极或者其阵列层，微电极或者其阵列层设置在衬底上，微电极或者其阵列层中，微电极或者其阵列的阴阳两极由空气间隔相互隔离。本发明灵敏度高，信噪比高，不需要接触人体，...
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- 一种阴阳微空洞电极结构
- 一种微电子技术领域的阴阳微空洞电极结构。本发明包括：衬底、阴阳微空洞电极、一维纳米结构层。阴阳微空洞电极设置在衬底上，一维纳米结构层覆盖于阴极空腔结构和阳极空腔结构内壁的部分或者全部表面。阴极和阳极由气体间隙隔离。本发明...
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- 碳纳米管微结构的制备方法
- 一种碳纳米管微结构的制备方法，步骤包括：基片准备；碳纳米管浆料制备；微结构成模：在经过处理的基片上表面，制成光刻胶层，并经曝光、显影和坚膜工艺以后形成具有所需图形和高度的微图形结构；碳纳米管压铸：采用压铸方法将碳纳米管浆...
- 张亚非侯中宇徐东蔡炳初魏星
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- 碳纳米管在MEMS微电极中的应用研究被引量：1
- 2007年
- 采用丝网印刷技术,将配制好的碳纳米管浆料涂敷到金属衬底上,形成碳纳米管薄膜,用四探针仪及表面轮廓仪分别测量了薄膜的方块电阻和表面粗糙度.结果表明,将碳纳米管球磨1 h,以质量比10%～12%与有机溶剂混合配制成浆料,丝网印刷后在真空烘箱内加热至100℃,干燥1 h,最后350℃烧结40 min,所获得的碳纳米管薄膜具有较好的导电性和较平整的表面.根据测量结果,优化了工艺参数,并结合微细加工技术获得了碳纳米管MEMS微电极.
- 魏星侯中宇徐东张亚非蔡炳初
- 关键词：碳纳米管丝网印刷微电极MEMS
- 使用一维纳米材料的微型气体传感器
- 一种传感器技术领域的使用一维纳米材料的微型气体传感器。本发明包括：衬底、金属底电极层、一维纳米材料层、金属支柱层、金属顶电极层。其中，金属底电极层设置在衬底上，一维纳米材料层设置在金属底电极层之上，金属支柱层设置在衬底之...
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- 碳纳米管微图形化方法
- 一种碳纳米管微图形化方法，属于微纳电子技术、光电子技术和微细加工技术领域。本发明包括以下步骤：(1)碳纳米管膜的制备。(2)在碳纳米管膜上面形成反应离子刻蚀中的掩膜层，根据具体应用要求掩膜层的成分、厚度的选择及其加工工艺...
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- 一维纳米材料的三维微构型制备方法
- 一种纳米技术领域的一维纳米材料的三维微构型制备方法，包括：基片准备：对用于制备微构型的基片进行预处理；金属微电铸：在经处理后的基片上形成具有所需结构与排列特征的金属电极结构的光刻胶微铸模，并在微铸模中电镀金属材料构成金属...
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- 碳纳米管微结构的制备方法
- 一种碳纳米管微结构的制备方法，步骤包括：基片准备；碳纳米管浆料制备；微结构成模：在经过处理的基片上表面，制成光刻胶层，并经曝光、显影和坚膜工艺以后形成具有所需图形和高度的微图形结构；碳纳米管压铸：采用压铸方法将碳纳米管浆...
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