于水
- 作品数：25 被引量：160H指数：4
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划高等学校国家重点实验室和教育部重点实验室访问学者专项基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信交通运输工程自动化与计算机技术更多>>
- 整体式微位移、力三维柔性驱动放大与转向机构
- 本发明属于微纳米技术领域，波及一种整体式微位移、力三维柔性驱动放大与转向机构。本发明包括微驱动器、柔性铰链、定位结构、调整旋钮；所说的微驱动器包括两个有平面度要求的光滑顶面和底面，该微驱动器嵌置在该柔性铰链中，该微驱动器...
- 李庆祥李玉和白立芬于水
- 文献传递
- 原子力显微镜传感器的微机械加工技术的研究被引量：3
- 1997年
- 分析了现有的ＡＦＭ力传感器的工艺特点及问题。在此基础上研究用ＫＯＨ溶液两步法Ｐ＋自停止腐蚀制作厚度精确可控的单晶硅悬臂梁；以ＳｉＯ２为掩模，ＳＦ６刻蚀硅，用ＲＩＥ与各向同性湿法化学腐蚀相结合使悬臂梁探针一次成形和用湿法腐蚀锐化探针，针尖半径约５０ｎｍ。制定了适于批量生产的ＡＦＭ力传感器加工工艺。
- 薛实福徐毓娴李庆祥王晓晔刘永生于水
- 关键词：微机械加工显微镜力传感器
- 十字片簧弹性支承测量机构的设计与实验被引量：1
- 2000年
- 台阶测量仪是超大规模集成电路生产工艺中测量台阶高度的重要仪器其中测量机构部分是仪器中的关键部件，它的性能优劣直接影响着整机的测量精度。本语文阐述了十字片簧弹性支承的测量机构的与特性实验，实验证明，此测量机构有运动灵活、回转精度高、测量力小、调整方便、抗疲劳性好，使用中无磨损、不需润滑、工作稳定可靠等特点，该机构台阶测量仪的要求。
- 于水白立芬李庆祥王云庆
- 关键词：弹性支承
- 基于图像处理的显微镜自动调焦方法研究被引量：109
- 1999年
- 自动调焦技术是提高显微镜测量精度的重要手段，本文介绍了采用图像处理法实现显微镜自动调焦的方法。对图像处理法实现显微镜自动调焦中的两个关键技术进行了详细的讨论：其一是图像清晰度评价函数的选取，文中采用绝对方差函数和修正平方梯度函数分别作为粗精调焦评价函数；另外还针对提高图像信息质量的方法进行了探讨，采用线性拟合与同态滤波方法进行图像处理，为离焦判断提供高质量的图像信号。实验表明，该方法调焦精度达±０．３μｍ 。
- 白立芬徐毓娴于水李庆祥
- 关键词：显微镜自动调焦图像处理
- 微细图形尺寸测量与图像处理实验系统的开发被引量：5
- 2001年
- 为适应教学改革的需要，加大实验课程在专业课教学中的比重，开发完成了微细图形与图像处理实验系统及配套的电子教案。系统采用显微镜一CCD—图像采集一计算机的方案，用Visual C++开发完成了包括图形尽寸测量与图像处理两个主要功能的实验软件，其中特别设计的Matlab接口使学生不必掌握C++即可用Matlat方便地进行实验。系统界面友好、交互性强，有利于培养学生实验动手能力和创造性。
- 白立芬于水李庆祥李罗生
- 关键词：图像处理电子教案
- 微小尺寸测量中的图像处理技术被引量：13
- 2001年
- 图像质量是影响光学显微系统微小尺寸测量精度的一个重要原因。介绍了测量系统的组成和工作原理 ,以及光学系统设计上保证成像质量的一些措施 ,探讨了提高图像质量和测量精度的方法。采用小波进行图像去噪 ,很好地去除了图像传输和存储过程中引入的高频噪声 ;为了进一步提高测量精度 ,采用同相累加平均的方法 ,滤除随机信号的影响。实验结果表明可满足超大规模集成电路线宽测量的要求 ,测量重复精度达到了 0 .0 1μm。
- 李罗生白立芬李庆祥于水何存富
- 关键词：微小尺寸测量小波变换去噪
- 十字片簧弹性支承机构的设计
- 2001年
- 首先建立了接触式台阶测量仪中关键部件———十字片簧支承的杠杆机构的数学模型并对其进行初步设计。直片簧应力有限元分析表明 ,该结构应力分布很不均匀 ;经片簧参数的改进设计 ,得出变截面片簧的设计参数。 0 .2N外加载荷作用下 ,采用Algor有限元软件分别对变截面片簧进行仿真实验 ,最大、最小应力之比由直片簧的 3 1.4降低为7.7,扭转刚度为 0 .0 6N·m ,测量力变化率为 3 6.6N/m 。
- 白立芬李庆祥于水薛实福
- 关键词：弹性支承有限元集成电路
- 基于LVDT的台阶信号拾取方法研究被引量：1
- 2000年
- 大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的 ,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿 ,合理地选择LVDT特性曲线的不同区域 ,以及正确设计传感器的安装角度等措施 ,有效地减小了零点残余电压的影响 ,并消除测量机构本身固有的二次项误差 ,提高了仪器的测量精度。实验表明 ,该仪器垂直方向测量分辨率可达 0 .5 μm ,重复测量精度为± 0 0 1 5 μm .
- 白立芬李庆祥薛实福于水
- 关键词：集成电路LVDT传感器
- 薄膜厚度测量系统
- 1994年
- 薄膜厚度测量是ＶＬＳＩ生产工艺中不可缺少的重要工序，也是保证产品质量提高生产效率的重要手段。采用显微镜－全息凹面光栅－ＣＣＤ－微机处理的测量系统具有结构简单工作可靠的特点。本文介绍了其原理与特点，并对该系统进行了实验，实验结果表明，对于较薄的膜层测量精度为±２ｎｍ，对于一般膜层为被测膜层厚度的±２％－±５％。
- 李庆祥薛实福徐毓娴于水
- 关键词：光度法集成电路
- 应用SSPDA单频激光干涉仪
- 1994年
- 本文介绍一种采用自扫描光电二极管列阵（ＳＳＰＤＡ）作为激光干涉条纹接收器的新型单频激光干涉仪。
- 薛实福李庆祥王伯雄徐毓娴于水
- 关键词：单频激光器干涉仪
