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刘志军

作品数：2 被引量：6H指数：1
供职机构：中国科学院大连化学物理研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇理学

主题

  • 2篇电感耦合
  • 2篇电感耦合等离...
  • 2篇电子密度
  • 2篇温度
  • 2篇离子
  • 1篇等离子体
  • 1篇电离
  • 1篇激发温度

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇林铁铮
  • 2篇李传河
  • 2篇刘志军

传媒

  • 2篇光谱学与光谱...

年份

  • 2篇1991
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
电感耦合等离子体在不同操作条件下的温度和电子密度的测定——Ⅱ.电子密度的测定被引量：5
1991年
引言等离子体的温度和粒子密度是等离子体的两大基本参数,其中温度是考察等离子体的特性及使操作条件最佳化的关键。等离子体的温度有气体动态温度,激发温度,电子温度和电离温度。气体动态温度有分子旋转谱线法和Doppler加宽法,激发温度有两谱线法和Boltzmann斜率法。
刘志军李传河林铁铮
关键词：电感耦合等离子体电子密度
电感耦合等离子体在不同操作条件下的温度和电子密度的测定——Ⅰ.气体温度、激发温度、电离温度的测定被引量：1
1991年
引言等离子体的温度和粒子密度是等离子体的两大基本参数,其中温度是考察等离子体的特性及使操作条件最佳化的关键。等离子体的温度有气体动态温度,激发温度,电子温度和电离温度。
刘志军李传河林铁铮
关键词：电感耦合温度电子密度
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共1页<1>
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