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刘毅南

作品数：1 被引量：7H指数：1
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金：中国科学院“百人计划”国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体增强
  • 1篇等离子体增强...
  • 1篇氧化碳
  • 1篇氧化锌
  • 1篇氧化锌薄膜
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇二氧化碳
  • 1篇锌

机构

  • 1篇中国科学院长...

作者

  • 1篇范希武
  • 1篇申德振
  • 1篇楚振生
  • 1篇刘毅南
  • 1篇李炳生
  • 1篇刘益春

传媒

  • 1篇发光学报

年份

  • 1篇2000
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
用锌金属有机源和二氧化碳等离子体增强化学气相沉积的方法制备高质量氧化锌薄膜被引量：7
2000年
报道了用金属锌有机源和二氧化碳混合气源等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)的方法成功地制备高质量择优取向 (0 0 0 2 )的ZnO薄膜。通过X ray衍射谱进行了结构分析得到六方结构 ,择优取向 ,晶粒尺寸大约在 2 2 0nm。并通过原子力显微镜分析更进一步验证了晶粒的尺寸。通过透射谱分析观察到了典型的激子吸收线。这种方法的特点是可以在低温条件下在任何衬底上生长大面积均匀性好。
楚振生李炳生刘益春申德振范希武刘毅南
关键词：氧化锌等离子体增强化学气相沉积
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