刘红梅
- 作品数：13 被引量：35H指数：3
- 供职机构：北京理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金黑龙江省教育厅科学技术研究项目黑龙江省科技计划项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术化学工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 溶胶-凝胶法制作PZT微驱动器的研究被引量：2
- 2007年
- 采用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的V型阀微驱动器。针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时详细探讨了硅各向异性刻蚀微驱动器的关键部件驱动腔、单向阀的工艺,解决了集成制作的V型阀微驱动器的关键工艺问题,并通过SEM照片对V型阀和多层驱动膜进行了表征。研究结果表明,采用MEMS与IC技术结合的方法成功地完成了微驱动器的研制,得到的驱动腔硅杯平坦均匀。在V型阀微驱动器整体设计中需要的硅片数目少,降低了器件的复杂性,可以满足低功耗、小型化和批量生产的要求。
- 邱成军刘红梅张辉军赵全亮孟丽娜曹茂盛
- 关键词：PZT薄膜溶胶-凝胶法各向异性刻蚀微驱动器MEMS
- PZT薄膜在MEMS器件中的研究进展被引量：11
- 2004年
- 主要介绍在MEMS器件中PZT薄膜制备的方法、制备过程中需要解决的问题、PZT薄膜与MEMS的集成以及PZT在MEMS中的应用的研究进展,并展望了PZT薄膜的应用前景。
- 刘红梅邱成军曹茂盛
- 关键词：PZTMEMS
- 利用MEMS技术研制硅脉象传感器被引量：3
- 2010年
- 利用MEMS技术在N型<100>晶向的单晶硅衬底上设计并制作了以纳米硅/单晶硅异质结为源极和漏极的P-MOSFETs脉象传感器。在方形硅膜上制作四个以纳米硅/单晶硅异质结为源极和漏极P-MOSFETs,并将P-MOSFETs的沟道电阻设计成惠斯通电桥结构,从而实现对微小脉象信号的准确检测。实验结果表明,该硅脉象传感器在恒压源-3.0V供电条件下,灵敏度为1.623mV/kPa,准确度为2.029%F.S。
- 王璐温殿忠刘红梅田丽莫兵
- 关键词：MEMSMOSFET
- 以溶胶-凝胶法PZT薄膜为驱动的微泵研制(英文)
- 2007年
- 采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备技术制作了Pb(Zr,Ti)O3(PZT)压电薄膜,并以PZT薄膜为驱动制作了微泵。采用了V型微阀的微泵主要利用PZT的压电效应。针对微泵的关键结构——复合驱动膜,探索了一种Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时探讨并解决了硅各向异性刻蚀微泵的微驱动腔、单向阀的工艺问题,并通过SEM照片对V型阀和多层驱动膜进行了表征。研究结果表明,采用MEMS技术成功地完成了微驱动器的研制,得到的驱动腔硅杯平坦均匀。在V型阀微泵整体设计中需要的硅片数目少,降低了器件的复杂性,可以满足功耗低、小型化和批量生产的要求。
- 邱成军曲伟刘红梅赵全亮卜丹曹茂盛
- 关键词：PZT薄膜溶胶-凝胶法各向异性刻蚀微泵MEMS
- 高性能PZT压电厚膜及MEMS微驱动器技术研究
- 2011年
- 运用混合溶胶-凝胶法制备了具有钛酸铅(PT)种子层的PZT基压电复合厚膜,包括(100)取向PZT压电厚膜,PZT纳米颗粒增强PZT压电复合厚膜((0-3)PZT)和氧化锌晶须增强PZT复合厚膜(ZnOw-PZT)。通过结构表征,研究了工艺条件和膜厚对PZT基厚膜的生长、结晶、取向和微结构的影响,给出最佳工艺条件。并介绍了无阀型压电MEMS微泵、V型阀式压电MEMS微泵、压电悬臂梁和三压电悬臂驱动的悬浮膜片式MEMS微镜等微器件的性能。
- 曹茂盛路冉赵全亮刘红梅邱成军袁杰
- 关键词：PZT厚膜溶胶-凝胶法MEMS
- 磁控溅射制备掺银TiO_2薄膜的光催化特性研究被引量：11
- 2005年
- 利用交流磁控溅射设备采用金属Ti靶在石英和硅衬底制备掺银TiO2薄膜,并利用SEM,XRD及吸收光谱等方法分析测试TiO2薄膜的性质,探讨了掺银对TiO2薄膜吸收光谱的影响。并通过对甲基橙溶液浓度变化研究了掺银TiO2薄膜光催化特性,分析了掺银对TiO2薄膜增强光催化作用的工作机理,研究结果表明掺银有利于TiO2薄膜对有机物的降解作用。
- 邱成军曹茂盛张辉军刘红梅田风军刘鑫
- 关键词：锐钛矿相射频磁控溅射光催化活性
- 井下液体流速检测仪的研制被引量：5
- 2001年
- 介绍了一种井下低流速液体流速检测仪的研制 ,阐述了利用 2DCM硅磁敏二极管和波纹管制造井下液体低流速传感器的设计原理与结构 ,提出了用XTR10 4补偿电路和智能化检测系统的方案 ,实验结果表明 。
- 曲伟温殿忠刘红梅李国栋
- 关键词：波纹管油井
- MEMS硅微悬臂梁谐振器的仿真设计
- 本文研究了硅微悬臂梁谐振器工作原理,给出了微悬臂梁谐振器的MEMS仿真加工工艺.通过Intellisuite软件对硅微悬臂梁谐振器进行了机械特性分析,探讨了微悬臂梁尺寸与固有频率之间的关系;对提高MEMS器件设计的效率和...
- 卜丹邱成军刘红梅魏娜
- 关键词：MEMS悬臂梁谐振器仿真
- 文献传递
- 区域封锁子弹结构与威力研究
- 刘红梅
- 关键词：冲击响应数值模拟
- 基于MEMS的压电厚膜谐振梁能量收集器的研究(英文)被引量：1
- 2011年
- 在谐振梁能量收集器中PZT膜材料的制备起着至关重要的作用,复合结构的锆钛酸铅(PZT)厚膜采用溶胶-凝胶方法旋涂在硅基的Au/Cr/SiO2/Si结构衬底的制备方法,主要因为溶胶-凝胶制备方法简单,成本低适合于集成制作.改进PZT组分和和0-3混合法及复合结构的Au/Cr/SiO2/Si衬底,使制备的PZT厚膜避免了厚度引起的裂痕,膜厚最厚可以达到4μm.同时采用Au/Ti顶层电极有利于PZT的d31工作模式.系列实验给出了厚膜的介电、铁电和压电特性,复合结构压电梁的能量收集可达0.74μW,3.93 DC电压直流输出.实验表明硅基PZT膜厚可以很好的承担谐振梁能量收集器材料.
- 邱成军尚瑛琦刘红梅刘芳徐勇
- 关键词：MEMS压电效应溶胶-凝胶法
