姜利霞
- 作品数:84 被引量:30H指数:3
- 供职机构:中国恩菲工程技术有限公司更多>>
- 相关领域:化学工程交通运输工程经济管理机械工程更多>>
- 四氯化硅氢化工艺研究进展
- 2015年
- 在西门子法生产多晶硅过程中会产生Si Cl4副产物,为了降低生产的成本,同时最大限度的减少对环境的破坏,综合利用这一副产物成为首要的问题。而Si Cl4加氢氢化为处理这一副产物提供了最有效的手段。针对此,笔者介绍了热氢化、冷氢化、氯氢化和等离子氢化四种工艺的技术特点和发展现状,并对冷氢化工艺的发展前景进行了展望。
- 刘挥彬郭树虎姜利霞
- 关键词:副产物闭式循环三氯氢硅氢化
- 电子级多晶硅的制备方法
- 本发明提供了一种电子级多晶硅的制备方法。该制备方法包括:将三氯氢硅液体和/或氯硅烷液体进行提纯,得到三氯氢硅,氯硅烷液体包括三氯氢硅;及采用氢气与三氯氢硅进行还原反应,得到电子级多晶硅,提纯步骤包括:对三氯氢硅液体和/或...
- 严大洲杨永亮万烨汤传斌张升学姜利霞石何武张志刚赵雄
- 文献传递
- 处理多晶硅尾气干法回收料的系统
- 本发明公开了一种处理多晶硅尾气干法回收料的系统,包括:第一加热装置,适于将回收料进行第一加热处理;第二加热单元,第二加热单元与第一加热装置相连,且适于将经过第一加热处理的回收料进行第二加热处理;第一精馏单元,第一精馏单元...
- 赵雄严大洲姜利霞万烨杨永亮
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- 用于硅基电子产品生产过程中的尾气处理系统
- 本实用新型公开了一种用于硅基电子产品生产过程中的尾气处理系统。系统包括依次相连的通过冷却介质对尾气进行换热处理的深冷器、对未冷凝气体进行热分解的热处理装置、以及对热分解产物进行水洗并将水洗后气体排出的水洗装置;深冷器尾气...
- 章莉姜利霞张升学汤传斌刘见华赵宇杨永亮严大洲
- 袋滤器
- 本申请公开了一种袋滤器,包括:外筒体,所述外筒体具有第一出气口和第一排固口;滤袋组件,所述滤袋组件设在所述外筒体内;内旋流筒,所述内旋流筒安装在所述外筒体内,所述内旋流筒具有第一进气口、第二排固口和第二出气口,所述第二排...
- 张立宁姜利霞李少华
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- 纯化四氯化硅的系统
- 本发明公开了一种纯化四氯化硅的系统,包括:精馏塔本体,所述精馏塔本体内自上而下依次限定出吸附精馏段、轻组分脱除段和重组分脱除段;四氯化硅入口,所述四氯化硅入口设置在所述吸附精馏段与所述轻组分脱除段之间;四氯化硅出口,所述...
- 赵雄杨永亮姜利霞严大洲万烨
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- 一种从干法回收料中提纯二氯二氢硅的方法
- 本发明公开了一种从干法回收料中提纯二氯二氢硅的方法,包括以下步骤:a)将多晶硅生产工艺中的还原尾气经过干法回收得到干法回收料,将干法回收料送入第一干法精馏塔中进行精馏,从第一干法精馏塔的塔顶采出第一低沸物,并从第一干法精...
- 姜利霞严大洲毋克力肖荣晖汤传斌杨永亮
- 氯硅烷提纯系统
- 本发明公开了氯硅烷提纯系统,包括:第一至第五精馏塔,第一至第五精馏塔中的每一个精馏塔均具有位于该精馏塔上的进料口、出气口、出液口、进液口以及进气口;第一至第五再沸器,第一至第五再沸器中的每一个均具有位于该再沸器上的进液口...
- 姜利霞严大洲杨永亮赵雄肖荣晖汤传斌
- 文献传递
- 无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的方法
- 本发明公开了无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的方法,包括:(1)将第一氯硅烷进行第一精馏提纯得到第一塔顶蒸汽和第一塔底液;(2)将第一塔顶蒸汽进行第一冷凝处理,并将得到第一氯硅烷冷凝液返回至第一精馏塔内;(3)将第一塔底液进...
- 姜利霞严大洲杨永亮赵雄肖荣晖汤传斌
- 文献传递
- 三氯氢硅精馏提纯塔的?分析
- 2019年
- 基于[火用]分析方法,运用Aspen Plus流程计算软件对三氯氢硅提纯的常规精馏塔和耦合精馏塔进行[火用]计算,并采用能量分析方法和分析方法评估精馏塔的用能情况,得到精馏提纯过程的能量分布和[火用]分布,然后进一步分析精馏塔各部分[火用]损分布。计算结果表明,精馏提纯塔的再沸器和冷凝器[火用]损较大,可通过适当降低冷热物料的温差减少[火用]损。
- 章莉杨永亮张升学姜利霞
- 关键词:三氯氢硅精馏提纯[火用]分析